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高溫型體積表面電阻率測定儀廠家

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更新時間:2024/11/06 17:20:44瀏覽次數(shù):2380

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應(yīng)用領(lǐng)域 航天,電氣
高溫型體積表面電阻率測定儀廠家主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評估和測試,該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進(jìn)行設(shè)計開發(fā),可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。目前主要針對圓片、方塊、長條等測試樣品進(jìn)行測試,

詳細(xì)介紹

ATI-212高溫半導(dǎo)體材料電阻率測試儀   
ATI-212型高溫半導(dǎo)體材料電阻率測試儀主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評估和測試,該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進(jìn)行設(shè)計開發(fā),可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。目前主要針對圓片、方塊、長條等測試樣品進(jìn)行測試,可以廣泛用于半導(dǎo)體材料硅(si)、鍺(ge),化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦(InSb),三元化合物半導(dǎo)體GaAsAl、GaAsP,固溶體半導(dǎo)體,如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。
技術(shù)參數(shù):                     高溫型體積表面電阻率測定儀廠家
溫度范圍:RT-1000℃
升溫斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min)
控溫精度:±0.5℃
電阻測量范圍:0.1mΩ~1MΩ
電阻率測量范圍:100nΩ..cm~100KΩ .cm
測量環(huán)境:惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛
測量方法:四線電阻法
測試通道:單通道
樣品尺寸:10mmx10mmX20mm或φ<20mm ,d<5mm
電極材料:上電極半圓型鉑金電極,下電極平板型鉑金電極
絕緣材料:99氧化鋁陶瓷
數(shù)據(jù)存儲格式:TXT文本格式
數(shù)據(jù)傳輸:USB
符合標(biāo)準(zhǔn):ASTM
供電:220V±10%,50Hz           高溫型體積表面電阻率測定儀廠家
工作溫度:5℃ 至 + 40 ℃;
存儲溫度:–40 ℃ 至 +65 ℃
工作濕度:+40 ℃ 時,相對濕度高達(dá) 95%(無冷凝)
設(shè)備尺寸:400x450x580mm
重量:38kg
產(chǎn)品特點:
■ 高溫爐膛、測量夾具、測量軟件等集成于一體,讓操作變得更加簡單,測量精度則會更高;
■ 觸摸屏控制和顯示,同時支持外接鍵盤和鼠標(biāo)操作,滿足多樣化需求;
■ ATI電阻率測量軟件兼容世界主流儀表Keithley 2400,擴(kuò)展應(yīng)用更加方便;
■ 可以實現(xiàn)常溫、高溫、真空、氣氛條件下測量半導(dǎo)體材料的電學(xué)性能;
■ 專業(yè)的測量軟件,可以測量半導(dǎo)體材料的方塊電阻和電阻率;
■ 進(jìn)口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛,高耐溫1100℃;
■ 內(nèi)膽采用進(jìn)口金屬材料,耐高溫、抗氧化,可實現(xiàn)常溫、高溫、真空、流動氣氛等多種試驗環(huán)境下的電學(xué)測量;
■ 為了減小高溫下導(dǎo)線受電爐絲的交流信號干擾而建立了金屬屏蔽罩,有效減小外部信號的干擾和增加測試頻率帶寬;
■ 采用九點控溫法,以傳感器為中心點,其半徑20mm的圓環(huán)上均勻鋪設(shè)八個溫度采集點,九個溫度點范圍內(nèi)采集到的溫度大溫差為1℃,此范圍為樣品測試的溫區(qū);
■ 彈簧夾具設(shè)計,彈簧的可壓縮性既不損傷樣品又能實現(xiàn)樣品的良好接觸;
■ 上電極半球狀+下電極平板狀結(jié)構(gòu)設(shè)計,可以精確定位測量被測樣品某一點;
■ 控溫和測溫采用同一個傳感器,保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度;
■ 采用九點控溫法,九個溫度點范圍內(nèi)采集到的溫度大溫差為1℃,此范圍為樣品測試的佳溫區(qū);
■ 電極支撐和屏蔽采用進(jìn)口合金材質(zhì),利用葉片設(shè)計可以很好解決因平臺帶來的熱弛豫影響;
■ 可以測量半導(dǎo)體材料的方塊電阻、電阻率,實現(xiàn)常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測量功能;
■ 操作簡單,功能強(qiáng)大的測量軟件,可以通過輸入樣品的面積和厚度,軟件自動計算樣品的電阻率ρv;
■ 智能化控制,可自動調(diào)節(jié)施加在樣品的測試電壓,以防樣品擊穿;
■ 采用新的RAM嵌入式開發(fā)平臺,可以進(jìn)行在線升級、遠(yuǎn)程協(xié)助及故障診斷;
■ 測量軟件*設(shè)計;

 

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