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光學(xué)3D輪廓測量顯微鏡本系統(tǒng)軟件采用的位移矯正和邊緣識別，邊緣修正技術(shù)，可以*消除圖像邊緣鋸齒狀。是低倍（光學(xué)<2000X.視頻<10000x）情況下電鏡的理想替代。遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出常規(guī)平面檢測（包括電鏡）的范圍。將光學(xué)顯微鏡的使用提升到新的高度。是顯微技術(shù)的發(fā)展。

光學(xué)3D輪廓測量顯微鏡優(yōu)勢

光學(xué)與光譜共焦雙模式提供高精測量

 APO復(fù)消色差鏡頭提供超高解析度

多功能程控光源滿足復(fù)雜檢測要求

自動(dòng)平臺支持3D光學(xué)拼接與3D測量

一體可視化設(shè)計(jì)滿足自動(dòng)操作要求

鏡頭技術(shù)：

12X-7000X ZOOM技術(shù)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)變倍

防眩光設(shè)計(jì)保證圖像采集的精準(zhǔn)性

光譜共焦技術(shù)極大提升Z向分辨率

快速物鏡更換裝置提升檢測效率

電動(dòng)變焦鏡頭防止人為誤差

連續(xù)變倍鏡頭LY-WN-LENS400視頻連續(xù)手動(dòng)、電動(dòng)變倍，自動(dòng)識別倍數(shù):

LENS物鏡成像要求：顯微鏡物鏡分辨率是顯微成像的根本保證，本系統(tǒng)采用的數(shù)值孔徑N.A值從0.015----0.9（空氣介質(zhì)）在正確照明下，能夠得到邊緣犀利，細(xì)節(jié)豐富的高分辨顯微圖像

APO復(fù)消色差技術(shù)的鏡頭:

APO復(fù)消色差技術(shù)，有效的解決了鏡頭的色差、色散以及二級光譜，并進(jìn)一步提升了成像質(zhì)量，將光學(xué)分辨率提升接近理論極限

LDM長工作距離技術(shù)之優(yōu)勢:

系統(tǒng)采用超長工作距離鏡頭，在保證分辨率為1μ的情況下，工作距離達(dá)到34mm，除了能防止損壞、觀察深孔槽之外，為系統(tǒng)的拓展性提供了良好基礎(chǔ)。

光譜共焦鏡頭:

基于白光色散技術(shù)的光譜共聚焦鏡頭，具有廣泛的測量適應(yīng)性，即使在光滑的玻璃表面，研磨后的鏡面材料，均能實(shí)現(xiàn)有效的測量，其Z向分辨率可達(dá)到10nm以下，配合高精度的壓電位移臺，能對樣品實(shí)現(xiàn)大面積準(zhǔn)確輪廓測量。得到的模型更可與光學(xué)景深圖像融合，最終得到計(jì)量級的彩色3D模型。

顯微照明ILLUMINATION技術(shù)要求：

優(yōu)質(zhì)的光源是數(shù)碼成像的基礎(chǔ)之一，正確匹配的照明模式是展現(xiàn)樣品細(xì)節(jié)的必需條件，系統(tǒng)所采用的照明裝置，均為機(jī)器視覺系統(tǒng)所用光源。具有光譜范圍廣，色彩真實(shí)，形態(tài)多樣，長壽命（大于3萬小時(shí)），根據(jù)不同用途，有多種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能組建復(fù)式照明技術(shù)，配合數(shù)字消光技術(shù)（HDR)，能展現(xiàn)樣品細(xì)節(jié)。

技術(shù)參數(shù)：