光柵尺

光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中，可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖，具有檢測(cè)范圍大，檢測(cè)精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。例如，在數(shù)控機(jī)床中常用于對(duì)刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測(cè)，來(lái)觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個(gè)補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動(dòng)誤差的作用。光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。

結(jié)構(gòu)

光柵尺是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床固定部件上，光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床活動(dòng)部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中。右圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu)。

光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭，它由光源、會(huì)聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多，根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭）。

heidenhain海德漢光柵尺LIDA207精度±15 µm

LIDA 277，LIDA 287 允許較大安裝公差的增量式直線光柵尺

• 測(cè)量步距0.5 µm

• 自由裁剪鋼帶光柵尺

• 鋼帶光柵尺穿入在粘性鋁殼中并固定

• 帶三色LED的功能顯示

• 由光柵尺和讀數(shù)頭組成

規(guī)模	LIDA 207
測(cè)量標(biāo)準(zhǔn) 線膨脹系數(shù)	鋼卷尺；光柵周期200微米 ?therm ? 10 x 10–6 K–1
精度等級(jí)	±15 µm
從卷上切下的卷尺*	3 m, 5 m, 10 m
參考標(biāo)記	每100毫米可選
大規(guī)模磁帶秤帶載體	20 g/m 70 g/m

掃描頭	LIDA 28	LIDA 27
界面	1 VPP	TTL
積分插值* 信號(hào)周期	– 200 µm	10-fold 20 µm	50-fold 4 µm	100-fold 2 µm
截止頻率掃描頻率邊緣分離A	≥ 50 kHz – –	– ≥ 50 kHz ≥ 0.465 µs	– ≤ 25 kHz ≥ 0.175 µs	– ≤ 12.5 kHz ≥ 0.175 µs
橫移速度	≤ 600 m/min		≤ 300 m/min	≤ 150 m/min
插值誤差	±2 µm	–
電氣連接*	電纜，1米或3米，帶15針D-Sub連接器（公）
電纜長(zhǎng)度	見接口說(shuō)明，但≤30米（帶海德漢電纜）
電源	DC 5 V ±0.25 V
電流消耗	< 155 mA	< 140 mA (無(wú)負(fù)荷)
振動(dòng)55赫茲至2000赫茲沖擊11毫秒	≤ 200 m/s2 (EN 60068-2-6) ≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27)
工作溫度	–10 °C to 70 °C
質(zhì)量掃描頭連接電纜連接器	20 g (無(wú)電纜) 30 g/m 32 g
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