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氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，小檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)

四氟化碳分析氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項(xiàng)目。

項(xiàng)目	指標(biāo)
四氟化碳（CF₄）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2 ≥	99.999	99.995	99.99
氮（N₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ＜	4	20	40
氧+氬（O₂+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ＜	1	5	10
二氧化碳（CO₂）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ＜	1	5	10
一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ＜	0.1	0.5	1
六氟化硫（SF₆）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ＜	1	1	5
水分（H₂O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/含量，10^-6 ＜	3	5	10
酸度（以HF計(jì)）含量含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ＜	0.1	0.3	0.3
其它鹵碳化合物^a含量（體積分?jǐn)?shù)）/10^-6 ＜	1	10	30
總雜質(zhì)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0^-6≤	10	50	10
顆粒	供需雙方商定	供需雙方商定	供需雙方商定
其它鹵碳化合物包括：六氟乙烷、八氟丙烷等。

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