三豐Hyper MF-U高精度全自動(dòng)工具測量顯微鏡
? 自動(dòng)化且精度高的測量顯微鏡 （*顯示分辨力 0.01um）。
? 主機(jī)的前臺(tái)操作設(shè)計(jì)是基于 UD（ 通用化設(shè)計(jì) ）的理念。
? 配備三軸電動(dòng)前置控制手柄，這使傳統(tǒng)的顯微鏡操作有了*的變化，即使在快速運(yùn)動(dòng)的過程中也能進(jìn)行精細(xì)定位。

三豐Hyper MF-U高精度全自動(dòng)工具測量顯微鏡

三豐Hyper MF-U高精度全自動(dòng)工具測量顯微鏡

•自動(dòng)化且精度最高的測量顯微鏡 (*顯示分辨力 0.01um)。
• 主機(jī)的前臺(tái)操作設(shè)計(jì)是基于 UD( 通用化設(shè)計(jì) )的理念。
• 配備三軸電動(dòng)前置控制手柄，這使傳統(tǒng)的顯微鏡操作有了*的變化，即使在快速運(yùn)動(dòng)的過程中也能進(jìn)行精細(xì)定位。
• 用戶可選擇傳統(tǒng)的顯微鏡光學(xué)管路或帶內(nèi)置激光自動(dòng)對(duì)焦功能的光學(xué)管路，其觀察方法多種多樣，提高了測量工作的效率。
• 行程為 250×150mm 的大工作臺(tái)可為大工件的測量提供足夠的空間。
• 使用超高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數(shù)頭。
• 暢銷的數(shù)據(jù)處理裝置 QM-Data200 和 Vision Unit可結(jié)合使用，提供有效且穩(wěn)定的測量環(huán)境。
• 晶片夾持器 (可用于小于 8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測量的需求。
• 電動(dòng)轉(zhuǎn)塔型擁有回縮功能，該功能在*換物鏡時(shí)啟動(dòng)工作。

規(guī)格

型號(hào)	Hyper MF-B2515B	Hyper MF-UB2515B	Hyper MF-UD2515B	Hyper MF-UE2515B
貨號(hào)	176-420*	176-421*	176-422*	176-423*
觀察類型	BF	BF	BF或BF/BD	BF
數(shù)碼自動(dòng)對(duì)焦功能	一	一	一	有
XY工作臺(tái)移動(dòng)范圍	250*150mm	250*150mm	250*150mm	250*150mm
測量裝置	線性編碼器	線性編碼器	線性編碼器	線性編碼器
分辨率	0.01um	0.01um	0.01um	0.01um
測量精度(20oC時(shí))	(0.9+3L/1000)μm, L為XY軸無負(fù)載測量長度(mm)
驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)	帶操縱桿的電動(dòng)驅(qū)動(dòng)控制
XY工作臺(tái)臺(tái)面尺寸	460*350mm	460*350mm	460*350mm	460*350mm
載物玻璃有效尺寸	300*200mm	300*200mm	300*200mm	300*200mm
旋轉(zhuǎn)功能	±3o	±3o	±3o	±3o
工件重量	30kg	30kg	30kg	30kg
工件高度	150mm	150mm	150mm	150mm