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貨物所在地:上海上海
更新時間:2024-09-23 09:09:44
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無塵烘箱/干燥箱產(chǎn)品介紹:
無塵烘箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到溫度控制精度。
產(chǎn)品特點:
1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class100
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避
免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.AFilter20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class100,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)
產(chǎn)品用途:
無塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
無塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烘箱/干燥箱產(chǎn)品參數(shù):
1、箱體結構:
1.1烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
1.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產(chǎn)生器,防機臺本身產(chǎn)生微塵;
1.3箱體材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
1.4內(nèi)膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產(chǎn)生PARTICLE;
1.5中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
2、溫控系統(tǒng)
2.1采用日本OMRONE5A型溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定,精確度±0.3%FS。;
2.2訊號來源:采日制進口CA感應棒±0.5%。
2.3輸出被控制組件:SSR無接點訊號輸出。
3、完善的安全保護措施:
漏電斷路器
控制線路保險絲裝置
超溫防止保護裝置
電熱過電流保護裝置
馬達過電流保護
機臺異常蜂鳴器警示
逆向防止器
門面安全開關
4、選購設備:
4.1可程式溫控器
4.2六點溫度記錄儀
4.3三色指示燈
4.4烘烤架
名稱及型號 | 無塵烘箱WCHX-2D |
無塵等級 | Class100 |
溫度范圍 | 60~+300℃ |
溫度均勻度 | 200℃±3℃、300℃±4℃ |
溫度波動度 | ±0.5℃(空載) |
溫控精度 | ±0.1℃ |
電源 | 380v,50Hz,12Kw |
烘箱擱板為活動形式 | 兩箱式 |
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