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產(chǎn)品分類 品牌分類

AST橢偏儀薄膜分析儀SR100系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司，其可以實現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數(shù)也可以實現(xiàn)測量，為人們針對薄膜進行分析提供了便利。

AST橢偏儀薄膜分析儀SR100

　AST橢偏儀薄膜分析儀SR100系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST公司，其可以實現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數(shù)也可以實現(xiàn)測量，為人們針對薄膜進行分析提供了便利。

產(chǎn)品詳情

基本功能	1，測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù) 2，實現(xiàn)薄膜均勻性檢測 3，實現(xiàn)反射、投射以及顏色測量
產(chǎn)品特點	強大的數(shù)據(jù)運算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫；簡便、易行的可視化測試界面，可根據(jù)用戶需求設置不同的參數(shù)；快捷、準確、穩(wěn)定的參數(shù)測試；支持多功能配件集成以及定制；支持不同水平的用戶控制模式；支持多功能模擬計算等等。
系統(tǒng)配置	型號：SR100R 探測器： 2048像素的CCD線陣列光源：高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素燈光傳送方式：光纖臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量，200mmx200mm的大小軟件： TFProbe 2.2版本的軟件通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率電腦硬件要求：P3以上、低50 MB的空間電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A 保修：一年的整機及零備件保修

規(guī)格尺寸

波長范圍：250nm到1100 nm 光斑尺寸：500μm至5mm 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm 基板尺寸：多可至50毫米厚測量厚度范圍：2nm～50μm 測量時間：2毫秒精度：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）重復性誤差*：小于1 ?
可選配件項	用于傳遞和吸收測量的傳動夾具（SR100RT) ) 低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100) 在多個位置下，多個通道用于同時測量 (SR100xX) 在超過200或300毫米晶片上所進行的統(tǒng)一測繪（SRM100-200/300）

應用系統(tǒng)

　　主要應用于透光薄膜分析類領域：

　　1 玻璃鍍膜領域(LowE、太陽能…)

　　2 半導體制造(PR，Oxide, Nitride…)

　　3 液晶顯示(ITO，PR，Cell gap...)

　　4 醫(yī)學，生物薄膜及材料領域等

　　5 油墨，礦物學，顏料，調(diào)色劑等

　　6 醫(yī)藥，中間設備

　　7 光學涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

　　8 半導體化合物

　　9 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

　　10 非晶體，納米材料和結(jié)晶硅