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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
AST橢偏儀薄膜分析MSP500-RTMF
AST橢偏儀薄膜分析MSP500-RTMF分析產(chǎn)品來(lái)自美國(guó)AST公司，其可以實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測(cè)量，同樣對(duì)于材料NK參數(shù)也可以實(shí)現(xiàn)測(cè)量，為人們針對(duì)薄膜微小區(qū)域進(jìn)行分析提供了便利。
產(chǎn)品詳情
基本功能 | 1，針對(duì)微小區(qū)域測(cè)試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數(shù) |
產(chǎn)品特點(diǎn) | l 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運(yùn)算處理功能及材料NK數(shù)據(jù)庫(kù)； |
系統(tǒng)配置 | 型號(hào)：MSP500RTMF |
規(guī)格參數(shù)
波長(zhǎng)范圍：250nm到1700 nm
波長(zhǎng)分辨率: 1nm
光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)
基片尺寸：多可至20mm
測(cè)量厚度范圍: 20Å 到25 μm
測(cè)量時(shí)間：2毫秒
精度*：優(yōu)于0.5%(通過(guò)使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)
重復(fù)性誤差*：小于2 ?
可選配件項(xiàng)
l 波長(zhǎng)可擴(kuò)展到遠(yuǎn)DUV或者長(zhǎng)NIR范圍(～2500nm)
2 可根據(jù)客戶的特殊需求來(lái)定制
3 在動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)研究時(shí)，可根據(jù)需要對(duì)平臺(tái)進(jìn)行加熱或致冷
4 可選擇的平臺(tái)尺寸多可測(cè)量300mm大小尺寸的樣品
5 更高的波長(zhǎng)范圍的分辨率可低至0.1nm
6 各種濾光片可供各種特殊的需求
7 可添加應(yīng)用于熒光測(cè)量的附件
8 可添加用于拉曼應(yīng)用的附件
9 可添加用于偏光應(yīng)用的附件
應(yīng)用系統(tǒng)
主要應(yīng)用于透光薄膜分析類領(lǐng)域：
l 玻璃鍍膜領(lǐng)域(LowE、太陽(yáng)能…)
2 半導(dǎo)體制造(PR，Oxide, Nitride…)
3 液晶顯示(ITO，PR，Cell gap...)
4 光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
5 半導(dǎo)體化合物
6 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
7 非晶體，納米材料和結(jié)晶硅