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?產(chǎn)品介紹

德國(guó)Freiberg Instruments 的弗萊貝格Omega/Theta XRD（X射線(xiàn)單晶定向儀-XRD晶體衍射儀）主要針對(duì)半導(dǎo)體晶體材料和光學(xué)材料生產(chǎn)研發(fā)，該儀器采用先進(jìn)的Omega掃描方法測(cè)定晶體結(jié)構(gòu)并檢測(cè)單晶取向，具有成熟的單晶X射線(xiàn)衍射儀（XRD）技術(shù)，且可集成至全自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)中，是一臺(tái)可測(cè)大直徑的全自動(dòng)晶圓和鑄錠定向檢測(cè)分揀設(shè)備。

?工作原理

• Omega/Theta XRD可測(cè)材料類(lèi)型有Si、Ge、SiC、Al2O3（藍(lán)寶石）、石英、AlN、GaAs、LiNbO3、BBO、高溫渦輪葉片等 200多種半導(dǎo)體、光學(xué)、電子、高溫合金等單晶晶體；
• 可對(duì)整塊晶體取向mapping（弗萊貝格*）進(jìn)行測(cè)量；
• 可測(cè)直徑大可達(dá)590mm（可根據(jù)需求定制更大檢測(cè)尺寸）；
• 檢測(cè)精度高達(dá)0.003° ，檢測(cè)速度快——5s/試樣；
• 可測(cè)搖擺曲線(xiàn)檢測(cè)晶體質(zhì)量；
• 制樣簡(jiǎn)便，且可集成至全自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)中，快速晶體質(zhì)量檢測(cè)分揀（日處理量高達(dá)5000片）。

?用戶(hù)群體

德國(guó)Freiberg Instruments（弗萊貝格儀器）公司Omega/Theta X射線(xiàn)衍射儀系列 （包括Omega/Theta XRD（X射線(xiàn)單晶定向儀-XRD晶體衍射儀））在國(guó)內(nèi)已有200多家客戶(hù)，如藍(lán)思科技、四聯(lián)集團(tuán)、協(xié)鑫集團(tuán)、廣東惠倫晶體、中電五十四所時(shí)頻事業(yè)部等。

而該儀器在歐美國(guó)家等國(guó)家晶體生產(chǎn)研發(fā)*企業(yè)中同樣應(yīng)用廣泛，如美國(guó)IPG Photonics公司、美國(guó)II-VI Advanced Materials公司、美國(guó)Crystal IS 公司、德國(guó)Si Crystal公司、波蘭熱舒夫理工大學(xué)。德國(guó)博世(Bosch)公司借助于此設(shè)備的Omega掃描技術(shù)，其石英振蕩器晶體產(chǎn)量從55%直接提升至95%。

?應(yīng)用實(shí)例

單晶渦輪葉片檢測(cè)圖：

α方向：

β方向：

γ方向：