目錄:上海昊量光電設(shè)備有限公司>>專用實驗設(shè)備>> 同步源測系統(tǒng)RTM2-制樣無需復雜光刻
| 應用領(lǐng)域 | 綜合 |
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同步源測系統(tǒng)RTM2-制樣無需復雜光刻（樣機可試用）
昊量光電全新推出的同步源測系統(tǒng)RTM2。利用同步源測系統(tǒng)RTM2的集成開關(guān)矩陣實現(xiàn)無限的精度和穩(wěn)定性用于片狀、霍爾和電阻張量的測量。
同步源測系統(tǒng)RTM2具有高精度的霍爾效應測量，無需光刻圖案，適用各種形狀樣品。測量電阻范圍從Nano-Ohm 到Tera-Ohms，高達8位以上動態(tài)范圍。
集成多功能開關(guān)矩陣結(jié)構(gòu)，可取代鎖相放大器、源測量單元、數(shù)字萬用表和模擬矩陣開關(guān)。
同步源測系統(tǒng)RTM2-制樣無需復雜光刻主要功能：
同步源測系統(tǒng)RTM2專為自動精密測量電阻和相關(guān)量而設(shè)計。半導體參數(shù)分析儀RTM2將直流和交流測量與集成開關(guān)矩陣結(jié)合在一起。
同步源測系統(tǒng)RTM2具有鎖定放大器的低噪、具有萬用表 8 位以上的動態(tài)范圍和較好的穩(wěn)定性，可研究 ppb 級效應。nΩ研究變得所未有的簡單。
創(chuàng)新的連接器設(shè)計允許傳統(tǒng)的 BNC 操作與被動屏蔽或主動防護屏蔽。這將直流阻抗上限擴展到了 Tera-Ohm 范圍，并將交流帶寬提高了約兩個數(shù)量級，以測試MΩ器件。
同步源測系統(tǒng)RTM2只需一臺設(shè)備就能自動記錄完整的電阻張量（Rx、Ry、RH），即使是在無圖案的薄膜上。
同步源測系統(tǒng)RTM2可用于材料研究、薄膜表征以及傳感器、晶片和設(shè)備測試。在快速多路復用設(shè)置中進行交流測試的能力，可在現(xiàn)場生產(chǎn)過程中實現(xiàn)更嚴格的元件分選。
同步源測系統(tǒng)RTM2開關(guān)矩陣的優(yōu)點：
萬用表或鎖相放大器等傳統(tǒng)精密設(shè)備依賴于與被測設(shè)備（DUT）靜態(tài)連接的四線電阻測量方法。這種方法不可避免地會受到來自被測設(shè)備和測量設(shè)備本身的各種干擾影響。
惠斯通電橋或平版印刷霍爾條圖案等測量安排可用于減少某些干擾的影響，但它們都依賴于實際電阻器或蝕刻圖案的精確和穩(wěn)定的對稱性，這在實踐中是無法實現(xiàn)的。
相比之下，矩陣開關(guān)可以在時域中分離干擾的影響。其中一個例子是van-der-Pauw范德堡方法，它可以精確區(qū)分縱向和橫向電阻，即使是在沒有光刻圖案的不規(guī)則形狀樣品上也是如此。
另一個例子是某些直流儀表采用的 "自動歸零（auto-zeroing）"，以補償偏移漂移。但這還不夠。同步源測系統(tǒng)RTM2的全矩陣切換功能及其與緊密多路交流測量的兼容性為我們帶來了無限可能。
可以對偏移和增益漂移進行補償，從而實現(xiàn)無限的穩(wěn)定性。這里的 "無限 "是字面意思：可實現(xiàn)的精度不是 7、8 或 10 位數(shù)，而是您愿意等待的位數(shù)。在自己的實驗室里進入計量圈子吧！
還可以對整個儀器的復合非線性進行補償。這樣就可以測試亞ppm 級的 I-V 非線性，從而在較低和較溫和的電流密度下看到更高階的傳輸物理。
同步源測系統(tǒng)RTM2突出亮點
基于集成開關(guān)矩陣的可重構(gòu)設(shè)備架構(gòu)
8 個用戶自定義端口（BNC 連接器），功能（輸入、輸出和/或參考）可自由確定
BNC 屏蔽可配置為無源接地或有源屏蔽
使用固定連接（開爾文或霍爾幾何）進行傳統(tǒng)的交流和直流 4 線測量
交替連接的交流和直流測量（電阻張量測量、范-德-波測量或電阻率測量）
同時測量薄膜縱向和橫向電阻的精確絕對值，無需光刻圖案
常用測量模式的軟件預設(shè)，可任何用戶特定的切換序列
基于 TCP 的通信，可輕松集成到任何環(huán)境中（如 Labview、C、Python）
同步源測系統(tǒng)RTM2主要的優(yōu)勢：
可替代所有用于電氣特性測量的標準設(shè)備(例如鎖定放大器、SMU、DMM）
通過集成的矩陣開關(guān)克服了靜態(tài) 4 點測量的局限性
提供范-德-波測量和電阻張量測量的預設(shè)值，并允許用戶進行全面配置
無需進行復雜的樣品制備（如平版印刷）。
可輕松連接多種不同的測量裝置（如探針臺、低溫恒溫器、真空系統(tǒng)等）
節(jié)省測量時間，提高樣品吞吐量
同步源測系統(tǒng)RTM2主要的應用領(lǐng)域
材料研究與表征
固體物理
半導體物理
磁性器件
柔性電子器件
自旋電子學
新型功能電子材料和器件
工業(yè)研發(fā)和晶片/設(shè)備測試
微電子設(shè)備
存儲器
晶體管、二極管
LED/OLED
太陽能電池
顯示器、TCO
傳感器
同步源測系統(tǒng)RTM2典型測試示例：
在標準幾何結(jié)構(gòu)（開爾文和霍爾布局）中進行超低噪聲、高穩(wěn)定性交流和直流 4 線測量
對不規(guī)則、無結(jié)構(gòu)薄膜樣品進行范德保開關(guān)連接 4 線測量
基礎(chǔ)物理學和計量學中的亞ppm 相對變化和非線性測量
零偏移霍爾 4 線測量（即使是非結(jié)構(gòu)化樣品，也能準確分離縱向電阻和橫向電阻）
比率電阻測量，消除樣品和設(shè)備漂移
高驅(qū)動諧波失真測量
脈沖和測量例程
設(shè)備前面板包括：1. 8個BNC端口，用于多個模擬功能：驅(qū)動、感測、參考相位鎖定。2. LED指示燈，用于指示端口功能：輸入（白色箭頭）或輸出（藍色箭頭）。3. 冷卻風流入口（請勿阻擋）。4. 便于攜帶和機架安裝的把手。5. 19英寸機架安裝孔。
設(shè)備后面板包括：6. 2個BNC端口，用于多個數(shù)字功能：觸發(fā)、閾值檢查、PWM。7. 以太網(wǎng)連接器，用于主要的TCP通信。8. 帶保險絲和開關(guān)的主電源插口。9. 設(shè)備信息顯示。10. 冷卻風流出口（請勿阻擋）。
電氣規(guī)格
模擬輸出 | |
對稱輸出 | DC to 60 kHz, ±20 V, ±200 mA |
輸出噪聲底限 | < -150 dBFS |
積分非線性誤差 | 5 ppm |
時間分辨率 | 2µs脈沖和任意波形模式 |
開關(guān)矩陣 | |
矩陣大小 | 8接口x 4模擬功能 |
大開關(guān)頻率 | 1 kHz |
開關(guān)電阻 | 2.5 ?, SNS: 5.0 ? |
浮動列阻抗 | 0.5 T? || 5 pF |
測量 | |
BJT輸入（SNS+和SNS-的復合） | 1.5 nV/√Hz, 2500 fA/√Hz |
FET輸入噪聲（SNS+和SNS-的復合） | 8 nV/√Hz, 2 fA/√Hz |
FET輸入負載 | <1 pA, 0.1 pA/V, 8 pF |
電阻測量噪聲底線 | 10 nΩ/√Hz（直接BJT輸入） |
<1 nΩ/√Hz（變壓器耦合的FET輸入） | |
增益變化 | 100 ppm/K |
<1 ppm/K（比例模式） | |
1 ppb（在有熱穩(wěn)定參考的比例模式） | |
直流偏置電壓變化 | ±1 μV/K, ±3 ppm/K |
<0.1 ppm/K (差分模式) | |
范圍 | |
串聯(lián)電阻 | 4, from 100 ? to 20 M? |
輸出電壓測量 | 4, log, from 20 V to 2 V |
輸入電壓測量 | 8, log, from 20 V to 100 mV |
電流測量 | 4 per resistor, log, from 200 mA to 100 nA |
在范圍內(nèi)的基本精度 | <1 ppm滿量程，用于輸出電壓和電流 |
<0.1 ppm滿量程，用于輸入電壓 | |
在一個范圍內(nèi)的連續(xù)動態(tài)范圍 | > 8 digits |
相位和頻率同步 | |
輸出端口 | 任何一個前端BNC端口 |
輸入端口 | 固定:任何前端的BNC |
動態(tài):跟隨任何模擬函數(shù) | |
同步范圍 | 2 Hz到50 kHz，任意相移 |
波形類型 | 輸出：正弦波 |
輸入：任意信號(鎖定到主導頻率) | |
數(shù)字I/O端口 | |
信號電平 | 單端3.3V cmos邏輯，正極觸發(fā) |
帶寬 | 10 MHz |
輸入函數(shù) | HI/LO，觸發(fā)(解調(diào)或脈沖產(chǎn)生)，pwm -模擬計數(shù)器，聯(lián)鎖 |
輸出函數(shù) | HI/LO，同步脈沖(開始解調(diào)或脈沖產(chǎn)生)，模擬- pwm輸出，限位指示 |
時間延遲 | < 100 ns(到數(shù)字I/O功能) |
< 50 µs(模擬I/O功能) | |
輸出脈沖形狀 | 100µs HI脈沖，否則為LO |
硬件/安裝
大小 | 19英寸機架安裝設(shè)備，2個高度單位，32厘米深度 |
功率需求 | <75 W，通用AC單相AC輸入，C14連接器 |
操作范圍 | 0°C - 50°C，無冷凝濕度 |
前端連接器 | BNC, 50 Ω型，防護罩可切換為防護罩或底盤 |
后端連接器 | BNC, 50 Ω型，屏蔽連接到機箱 |
通訊端口 | 以太網(wǎng) |
制冷 | 增壓氣流從前到后 |
前端LED指示燈 | 操作，通道選擇，都是可調(diào)的和可分離的 |
Tensormeter RTM2 19英寸機架安裝設(shè)備
軟件包，包括LabVIEW和Python的客戶端代碼示例（無需驅(qū)動程序）
Tensormeter RTM2用戶指南，包括TCP命令、操作參數(shù)指南
帶F型連接器的主電源電纜（根據(jù)需要提供其他類型）
以太網(wǎng)電纜
關(guān)于昊量光電：
上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學測量設(shè)備、光學元件等，涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學研究、國防、量子光學、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等服務。
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