對(duì)奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡的深入了解
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡在提高有效信號(hào)的基礎(chǔ)上，大大降低噪音信號(hào)，使得高質(zhì)量的熒光圖像成為可能。利用“對(duì)焦（焦點(diǎn)）時(shí)反射光量較大”這一共焦原理的顯微鏡測(cè)量精度，會(huì)受到正確讀取反射光量峰值的能力的較 大影響。構(gòu)成共焦光學(xué)系統(tǒng)的方式有很多。有些形狀測(cè)量激光顯微系統(tǒng)所采用的“針孔共聚焦方式”。針孔共聚焦方式是在光接收元件的前面設(shè)計(jì)了針孔。針孔的直徑僅為數(shù)十μm，其功能是在不對(duì)焦時(shí)切斷反射光。
可用來觀察樣品表面亞微米級(jí)別的三維輪廓形貌, 也可以測(cè)量多種微幾何尺寸, 像晶粒度、體積、膜深、膜厚、深度、長(zhǎng)寬、線粗糙度、面粗糙度等。奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡相比于其他測(cè)量手段有其*的優(yōu)勢(shì), 它提高了圖片的清晰度, 有很好的景深, 提高了分辨率, 可以進(jìn)行無接觸的三維輪廓測(cè)試。在金屬材料研發(fā)方面還經(jīng)常用到光學(xué)顯微鏡和掃描電子顯微鏡。光學(xué)顯微鏡是一種二維的形態(tài)學(xué)工具, 有效分辨率較低, 分辨率的景深較小, 也不能觀察縱向方向的三維形態(tài)。而掃描電鏡在樣品的制備方面比較復(fù)雜, 有時(shí)還會(huì)引起樣品的破壞, 對(duì)于掃描的面積和材料的表面高度都有所限制, 同時(shí)它也不能測(cè)量面積、體積、深度等信息。在鋼鐵材料的生產(chǎn)和開發(fā)過程中, 眾多的環(huán)節(jié)需要關(guān)注表面形貌, 采用激光共聚焦顯微鏡技術(shù)進(jìn)行相應(yīng)檢測(cè), 不僅可以獲得媲美SEM的顯微圖像, 同時(shí)還能夠進(jìn)行快速、無損測(cè)量, 加之其較低的引入和維護(hù)成本,更符合目前行業(yè)成本控制的需求。
得益于其靈活性，奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡測(cè)量系統(tǒng)在材料科學(xué)的眾多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。在短短幾秒鐘內(nèi)即可提供整個(gè)表面的可重復(fù)性精確3D測(cè)量數(shù)據(jù)。這就是為什么該技術(shù)是需要分析不同材料用戶的理想選擇。
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