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美國MOOG伺服閥G761-3026B系列技術誕生是液壓控制技術和液壓控制系統(tǒng)的發(fā)展的結果。

液壓控制技術的歷史最早可追溯到公元前240年，當時一位古埃及人發(fā)明了人類歷個液壓伺服系統(tǒng)——水鐘。然而在隨后漫長的歷史階段，液壓控制技術一直裹足不前，直到18世紀末19世紀初，才有一些重大進展。在二戰(zhàn)前夕，隨著工業(yè)發(fā)展的需要，液壓控制技術出現(xiàn)了突飛猛進地發(fā)展，許多早期的控制閥原理及均是這一時代的產(chǎn)物。如：Askania調節(jié)器公司及Askania-Werke發(fā)明及申請了射流管閥原理的。同樣Foxboro發(fā)明了噴嘴擋板閥原理的。而德國Siemens公司發(fā)明了一種具有永磁馬達及接收機械及電信號兩種輸首*首*首*首*首*首先進入的雙輸首*首*首*首*首*首先進入閥，并開創(chuàng)性地使用在航空領域。

在二戰(zhàn)末期，伺服閥是用螺線管直接驅動閥芯運動的單級開環(huán)控制閥。然隨著控制理論的成熟及軍事應用的需要，伺服閥的研制和發(fā)展取得了巨大成就。 1946年，英國Tinsiey獲得了兩級閥的；Raytheon和Bell航空發(fā)明了帶反饋的兩級閥；MIT用力矩馬達替代了螺線管使馬達消耗的功率更小而線性度更好。1950年，W.C.Moog第一個發(fā)明了單噴嘴兩級伺服閥。1953年至1955年間，T.H.Carson發(fā)明了機械反饋式兩級伺服閥；W.C.Moog發(fā)明了雙噴嘴兩級伺服閥；Wolpin發(fā)明了干式力矩馬達，消除了原來浸在油液內(nèi)的力矩馬達由油液污染帶來的可靠性問題。 1957年R.Atchley利用Askania射流管原理研制了兩級射流管伺服閥。并于1959年研制了三級電反饋伺服閥。

1959年2月國外某液壓與氣動雜志對當時的伺服閥情況作了12頁的報道，顯示了當時伺服閥蓬勃發(fā)展的狀況。那時生產(chǎn)各種類型的伺服閥的制造商有 20多家。各生產(chǎn)廠家為了爭奪伺服閥生產(chǎn)的霸權地位展開了激烈地競爭。回顧歷史，可以看到最終取勝的幾個廠家，大多數(shù)生產(chǎn)具有反饋及力矩馬達的兩級伺服閥。我們可以看到1960年的伺服閥已具有現(xiàn)代伺服閥的許多特點。如：第二級對第一級反饋形成閉環(huán)控制；采用干式力矩馬達；前置級對功率級的壓力恢復通常可達到50%；第一級的機械對稱結構減小了溫度、壓力變化對零位的影響。同時，由早期的直動型開環(huán)控制閥發(fā)展變化而來的直動型兩級閉環(huán)控制伺服閥也已出現(xiàn)。當時的伺服閥主要用于軍事領域，隨著太空時代的到來，伺服閥又被廣泛用于航天領域，并研制出高可靠性的多余度伺服閥等產(chǎn)品。國內(nèi)生產(chǎn)伺服閥的廠家主要有：航空工業(yè)總公司第六O九研究所、航空工業(yè)總公司第六一八研究所、北京機床研究所、中國運載火箭技術研究院第十八研究所、上海航天控制工程研究所、九江中船儀表有限責任公司（四四一廠）及中國船舶重工集團公司第七O四研究所。國外生產(chǎn)伺服閥的廠家主要有：美國 Moog公司、英國Dowty公司、美國Team公司、俄羅斯的“祖國"設計局、沃斯霍得工廠等，此外美國Park公司、EatonVickers公司、德國Bosch公司、Rexroth公司等亦有自己的伺服閥產(chǎn)品。

美國MOOG伺服閥G761-3026B系列一般按力矩馬達型式分為動圈式和永磁式兩種。傳統(tǒng)的伺服閥大部分采用永磁式力矩馬達，此類伺服閥還可分為噴嘴擋板式和射流式兩大類。國內(nèi)生產(chǎn)伺服閥的廠家大部分以噴嘴擋板式為主。生產(chǎn)射流管式伺服閥形成規(guī)模及系列的只有九江中船儀表有限責任公司（四四一廠）和中國船舶重工集團公司第七O四研究所。國外情況亦類似，原專業(yè)生產(chǎn)射流管式伺服閥的廠家美國Abex公司也已被Park公司所吞并。然而，由于射流管式伺服閥具有抗污染性能好、高可靠性、高分辨率等特點。有些生產(chǎn)廠家也在研制或已推出自己的射流管式產(chǎn)品，如航空工業(yè)總公司第六O九研究所、中國運載火箭技術研究院第十八研究所、美國Moog公司及俄羅斯的有關廠家等。美國Moog公司還在2006年7月召開了產(chǎn)品推廣會，推出了射流管式的D660系列產(chǎn)品，并認為該產(chǎn)品代表了今后伺服閥的發(fā)展趨勢。

當前國內(nèi)在研究、生產(chǎn)及使用伺服閥方面雖然形成了一定的規(guī)模。然而生產(chǎn)的產(chǎn)品主要用于航空、航天、艦船等領域，在民品不大。同時由于各生產(chǎn)單位各自為戰(zhàn)、缺少合作、力量分散，很不利于伺服閥的進一步發(fā)展，也無法形成強大的競爭力與國外產(chǎn)品進預*預*預*預*預*預先進行競爭?，F(xiàn)國外產(chǎn)品在的為Moog公司，它的產(chǎn)品占據(jù)了國內(nèi)絕大部分的民品市場。

研究現(xiàn)狀

當前電液伺服閥的研究主要集中在結構及加工工藝的改進、材料的更替及測試方法的改變。

1）在結構改進上，主要是利用冗余技術對伺服閥的結構進預*預*預*預*預*預先進行改造。由于伺服閥是伺服系統(tǒng)的核心元件，伺服閥性能的優(yōu)劣直接代表著伺服系統(tǒng)的水平。另外，從可靠性角度分析，伺服閥的可靠性是伺服系統(tǒng)中最重要的一環(huán)。由于伺服閥被污染是導致伺服閥失效的最主要原因。對此，國外的許多廠家對伺服閥結構作了改進，先后發(fā)展出了抗污染性較好的射流管式、偏導射流式伺服閥。而且，俄羅斯還在其研制的射流管式伺服閥閥芯兩端設計了雙冗余位置傳感器，用來檢測閥芯位置。一旦出現(xiàn)故障信號可立即切換備用伺服閥，大大提高了系統(tǒng)的可靠性，此種兩余度技術已廣泛的應用于航空預*預*預*預*預*預先進行業(yè)。而且，美國的Moog公司和俄羅斯的沃斯霍得工廠均已研制出四余度的伺服機構用于航天預*預*預*預*預*預先進行業(yè)。我國的航天系統(tǒng)有關單位早在90年代就已進預*預*預*預*預*預先進行三余度等多余度伺服機構的研制，將伺服閥的力矩馬達、反饋元件、滑閥副做成多套，發(fā)生故障可隨時切換，保證系統(tǒng)的正常工作。此外多線圈結構、或在結構上帶零位保護裝置、外接式濾器等型式的伺服閥亦已在冶金、電力、塑料等預*預*預*預*預*預先進行業(yè)得到了廣泛的應用。

2）在加工工藝的改進方面，采用新型的加工設備和工藝來提高伺服閥的加工精度及能力。如在閥芯閥套配磨方法上，上海交通大學、哈爾濱工業(yè)大學均研制出了智能化、全自動的配磨系統(tǒng)。特別是哈爾濱工業(yè)大學的配磨系統(tǒng)改變了傳統(tǒng)的氣動配磨的模式，采用液壓油作為測量介質，更直接地反應了所測滑閥副的實際情況，提高了測量結果的準確性與精度。在力矩馬達的焊接方面中船重工第704研究所與德國名廠家合作，采用了*焊接工藝取得了良好的效果。另外，哈爾濱工業(yè)大學還研制出智能化的伺服閥力矩馬達彈性元件測量裝置。解決了原有手動測量法中存在的測量精度低、操作復雜、效率低等問題。對彈性元件能高效完成剛度測量、得到完整的測量曲線，且不重復性測量誤差不大于1%。

3）在材料的更替上方面。除了對某些零件采用了強度、彈性、硬度等機械性能更*的材料外。還對特別用途的伺服閥采用了特殊的材料。如德國有關公司用紅寶石材料制作噴嘴檔板，防止因氣饋造成檔板和噴嘴的損傷，而降低動靜態(tài)性能，使工作壽命縮短。機械反饋桿頭部的小球也用紅寶石制作，防止小球和閥芯小槽之間的磨損，使閥失控，并產(chǎn)生尖叫。航空六O九所、中船重工第七O四研究所等單位均采用新材料研制了能以航空煤油、柴油為介質的耐腐蝕伺服閥。此外對密封圈的材料也進預*預*預*預*預*預先進行了更替，使伺服閥耐高壓、耐腐蝕的性能得到提高。

4）在測試方法改進方面，隨著計算機技術的高速發(fā)展生產(chǎn)單位均采用計算機技術對伺服閥的靜、動態(tài)性能進預*預*預*預*預*預先進行測試與計算。某些單位還對如何提高測量精度，降低測量儀器本身的振動、熱噪聲和外界的高頻干擾對測量結果的影響，作了深首*首*首*首*首*首先進入的研究。如采用測頻/測周法、尋優(yōu)信號測試法、小波消噪法、正弦輸首*首*首*首*首*首先進入法及數(shù)字濾波等新技術對伺服閥測試設備及方法進預*預*預*預*預*預先進行了研制和改進