ATA-2000系列高壓放大器在壓電陶瓷方面的應(yīng)用
隨著精密工程和微細(xì)工程的迅速發(fā)展, 亞μm 和nm 級定位技術(shù)和微動伺服技術(shù)已成為微機電系統(tǒng)(MEMS)、超精密加工、微電子、光電子和生物工程等前沿學(xué)科的關(guān)鍵技術(shù)。
壓電陶瓷驅(qū)動系統(tǒng)作為理想的nm 微位移元件, 具有體積小、位移分辨率高、頻響高、承載力大、無噪聲、不發(fā)熱等特點, 得到了廣泛應(yīng)用。但是由于壓電陶瓷的遲滯、蠕變等效應(yīng), 給壓電陶瓷的控制帶來了困難。而驅(qū)動放大器則是引起遲滯和蠕變現(xiàn)象主要的原因之一。因此,壓電陶瓷驅(qū)動放大器已成為目前壓電陶瓷致動器應(yīng)用中的關(guān)鍵技術(shù)之一。
壓電陶瓷致動器一般為堆疊結(jié)構(gòu)。在外電場的作用下,每個壓電陶瓷片相當(dāng)于1個平行板電容器。因此,驅(qū)動放大器的負(fù)載壓電陶瓷致動器為容性負(fù)載,其電容量通常達幾μF。當(dāng)存在外加電場時,根據(jù)逆壓電效應(yīng), 壓電陶瓷片產(chǎn)生垂直方向和水平方向的變形, 輸出位移。在已知壓電陶瓷致動器模型的前提下, 通過一定的控制方法和控制算法, 能夠使壓電致動器的動態(tài)響應(yīng)得到較大提高。
ATA-2000系列高壓放大器提供了DC-2MHz的帶寬,170Vpp~1600Vpp的輸出電壓范圍,40mA~500mA的電流輸出能力,是精密位移系統(tǒng)中壓電陶瓷驅(qū)動研發(fā)測試的理想選擇。
ATA-2000系列高壓放大器,可以輸出理想的單端及差分信號,為MEMS領(lǐng)域的研究提供了快捷的工具。同時該系列功率放大器,設(shè)計了良好的過壓,過流,短路保護裝置,同時為了更好的為MEMS測試客戶應(yīng)用,提供的完善的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò),方便用戶選擇對應(yīng)匹配阻抗。
ATA-2000系列高壓放大器的增益數(shù)控可調(diào),通過0.1的步進對于信號進行放大,方便用戶調(diào)試。同時具有100:1的信號監(jiān)控口,方便用戶實時觀測輸出波形的變化。采用液晶顯示,操作簡單易懂.