BM-54X檢測(cè)大平臺(tái)工業(yè)顯微鏡配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好。是針對(duì)半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開(kāi)發(fā)的，作為高級(jí)工業(yè)顯微鏡使用?？蛇M(jìn)行明暗場(chǎng)觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對(duì)硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測(cè)分析。

二、技術(shù)規(guī)格

1、觀察頭：30°鉸鏈?zhǔn)饺浚?0-75 mm）

2、目 鏡：WF10XΦ25mm；WF10X/Φ20mm ，帶0.1 mm十字分劃板

3、轉(zhuǎn)換器：帶DIC插孔明暗場(chǎng)五孔轉(zhuǎn)換器

4、物 鏡： 平場(chǎng)無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離明暗場(chǎng)物鏡：

5.放大倍數(shù)：50X-600X （顯微鏡的總放大倍率：顯微鏡的總放大倍率=物鏡倍率×鏡筒系數(shù)倍率×目鏡倍率）

6、平臺(tái)：雙層移動(dòng)平臺(tái)；平臺(tái)尺寸：350×310 mm、移動(dòng)范圍：250×250 mm 。

7、濾色片：插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性）

8、調(diào)焦范圍：30mm粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,采用鹵輪鹵條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、 微動(dòng)格值0.002mm

9、光源： 落射照明：帶孔徑光欄和視場(chǎng)光欄、鹵素?zé)?2V100W、AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)

10、偏光裝置：檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動(dòng)，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

11、檢測(cè)工具：0.01 mm測(cè)微尺