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美國(guó)API激光干涉儀xd laser上海

Automated Precision Inc.（API）xd™激光干涉儀。它是一個(gè)多維激光測(cè)量系統(tǒng)。它同時(shí)測(cè)量線性、角度、直線度和滾動(dòng)誤差。它速度快，在大約80%的停機(jī)時(shí)間內(nèi)進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量。例如，一臺(tái)1米體積機(jī)器的完整測(cè)量是在3到4小時(shí)內(nèi)完成的，而不是3天。這樣有助于提高生產(chǎn)效率。

這臺(tái)機(jī)器是*無(wú)線的。以太網(wǎng)連接有1、3、5和6自由度配置。6維xd激光干涉儀可同時(shí)測(cè)量單個(gè)裝置的所有軸誤差。該系統(tǒng)還可以對(duì)速度、加速度、平行度、方正度和平面度進(jìn)行評(píng)估。所有這些特性使xd激光器不同于其他激光器。

它還有許多其他功能，如集成控制盒到激光頭，便于攜帶。實(shí)時(shí)氣象站補(bǔ)償。還有一個(gè)濕度傳感器。它有一個(gè)緊湊的激光頭和一個(gè)底板。您可以沿著快速校準(zhǔn)夾具的功能設(shè)置一個(gè)單一的光學(xué)直角度。

XD Laser™激光干涉儀簡(jiǎn)介：

XD Laser™激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上，XD Laser™激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子計(jì)數(shù)，記錄準(zhǔn)確長(zhǎng)度位置，第二束光作直線度測(cè)量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測(cè)得，第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源，用來(lái)測(cè)量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。

為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測(cè)量?jī)x在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測(cè)量?jī)x的橫向和角度漂移量都降到小，從而保證測(cè)量?jī)x的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，測(cè)量?jī)x配有自動(dòng)氣壓，環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長(zhǎng)及長(zhǎng)度測(cè)量的影響。測(cè)量?jī)x還配有站們?cè)O(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到低。

XD Laser™激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：

1. 線性：0.5ppm .

2. 測(cè)量范圍：40米(1D可選80米)

3. 線性分辨力：0.001um.

4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

5. 大范圍：800角秒

6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒

7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

8. 直線度大范圍：500um

9. 垂直度精度：1角秒

10. 溫度精度：0.2攝氏度

11.濕度精度：5%

12.壓力精度：1mmHg

主要特點(diǎn)：

1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器

3. 可選的無(wú)線遙控傳感器長(zhǎng)的控制距離可到25米

4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。

5. 全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架

6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間