詳細(xì)介紹
MTS傳感器的核心包括一條鐵磁材料的測(cè)量感應(yīng)元件,一般被稱為 "波導(dǎo)管",一個(gè)可以移動(dòng)的永磁鐵,磁鐵與波導(dǎo)管會(huì)產(chǎn)生一個(gè)縱向向的磁場(chǎng)。 每當(dāng)電流脈沖(即 "詢問(wèn)信號(hào)")由傳感器電子頭送出并通過(guò)波導(dǎo)管時(shí),第二個(gè)磁場(chǎng)便由波導(dǎo)管的徑向方面制造出來(lái)。 當(dāng)這兩個(gè)磁場(chǎng)在波導(dǎo)管相交的瞬間,波導(dǎo)管產(chǎn)生 "磁致伸縮" 現(xiàn)像,一個(gè)應(yīng)變脈沖即時(shí)產(chǎn)生。這個(gè)被稱為 "返回信號(hào)" 的脈沖以超聲的速度從產(chǎn)生點(diǎn)(即位置測(cè)量點(diǎn))運(yùn)行回傳感器電子頭并被檢測(cè)器檢出來(lái)。
MTS傳感器用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。薄膜傳感器則是通過(guò)沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上。厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,使厚膜成形。
MTS線性傳感器部分型號(hào)如下:
RHM0025MP031S1B6100 RHM0700MD701S1G1100 RHV0300MP010S1G1100 RHV0200MP101S1B8100
RHM0075MP021S2G1100 RHM0100MD701S1G1100 RHM0205MT01AS1G1100 RHM1200MP051S1G6100
RHM0100MD701S1G8100 RHV0780MP101S1G1100 RHM0150MP021S2G1100 RHM0330MP101S3B6105