HYDAC傳感器一般由彈性敏感元件和位移敏感元件(或應(yīng)變計(jì))組成。彈性敏感元件的作用是使被測(cè)壓力作用于某個(gè)面積上并轉(zhuǎn)換為位移或應(yīng)變,然后由位移敏感元件(見(jiàn)位移傳感器)或應(yīng)變計(jì)(見(jiàn)電阻應(yīng)變計(jì)、半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì))轉(zhuǎn)換為與壓力成一定關(guān)系的電信號(hào)。有時(shí)把這兩種元件的功能集于一體,如壓阻式傳感器中的固態(tài)壓力傳感器。
賀德克壓力傳感器是檢測(cè)氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱(chēng),也包括丈量高于大氣壓的壓力計(jì)以及丈量低于大氣壓的真空計(jì)。力敏傳感器的種類(lèi)甚多、傳統(tǒng)的丈量方法是利用彈性元件的形變和位移來(lái)表示,但它的體積大、粗笨、輸出非線性。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性,研制出半導(dǎo)體力敏傳感器,主要有硅壓阻式和電容式兩種,它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn),因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。當(dāng)對(duì)一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時(shí),其電阻率會(huì)產(chǎn)生一定的變化。這種導(dǎo)體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱(chēng)為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng),利用此效應(yīng)制成的力學(xué)量傳感器稱(chēng)為壓阻式力敏傳感器,它有兩種類(lèi)型,一類(lèi)是將半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)粘貼在彈性元件上制成的傳感器,稱(chēng)為粘貼型壓阻式傳感器,另一類(lèi)是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻,使應(yīng)變計(jì)與硅襯底形成同一整體的傳感器,稱(chēng)為擴(kuò)散型壓阻式傳感器。
HYDAC傳感器部分型號(hào):HDA3844-A-006-000 HDA3844-A-016-000 HDA3844-A-060-000 HDA3844-A-100-000 HDA3844-A-250-000 HDA3844-A-400-000 HDA3844-A-600-000 HDA3844-B-006-000 HDA3844-B-016-000 HDA3844-B-060-000 HDA3844-B-100-000 HDA3844-B-250-000 HDA3844-B-400-000 HDA3844-B-600-000 HDA3844-E-006-000 HDA3844-E-016-000 HDA3844-E-060-000 HDA3844-E-100-000 HDA3844-E-250-000