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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
CVD管式爐采用雙層殼體結(jié)構(gòu),智能化程序控溫系統(tǒng)，可控硅控制，控溫精度高；內(nèi)置兩個(gè)溫區(qū)，可以營(yíng)造不同的溫度梯度。雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效降低爐殼表面溫度；結(jié)合我司標(biāo)準(zhǔn)真空、混氣系統(tǒng)，可抽真空通氣氛。
詳細(xì)介紹
CVD管式爐由開(kāi)啟式管式爐、高真空分子泵系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成，是實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復(fù)合薄膜等的理想選擇。其原理在于在真空壓力下，加在電感線(xiàn)圈的射頻電場(chǎng)，使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電，在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子，這些電子在電場(chǎng)的作用下獲得充足的能量，其本身溫度很高，它與氣體分子相碰撞，使氣體分子活化。它們吸附在襯底上，并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成介質(zhì)膜，副產(chǎn)物從襯底上解吸，隨主氣流由真空泵抽走，稱(chēng)為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉(PECVD)。CVD管式爐用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火等。
CVD管式爐主要功能和特點(diǎn)：
1、CVD管式爐內(nèi)置兩個(gè)溫區(qū)，可以營(yíng)造300℃內(nèi)不同的溫度梯度；
2、雙溫區(qū)控制系統(tǒng)采用PID方式控制，控溫儀表中可以設(shè)置30段升降溫程序，每個(gè)溫區(qū)可以單獨(dú)控溫；
3、采用KF快速法蘭密封，只需要一個(gè)卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；
4、CVD管式爐爐蓋可打開(kāi)，可以實(shí)時(shí)觀察燒結(jié)的物料狀況，并能迅速降溫，滿(mǎn)足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)需要；
5、CVD管式爐爐膛采用進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，拉伸強(qiáng)度高，無(wú)雜球，純度高，節(jié)能效果明顯優(yōu)于國(guó)內(nèi)纖維材料；
6、加熱元件采用內(nèi)嵌式高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，經(jīng)久耐用，zui高溫度可達(dá)1200℃。
7、預(yù)留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用；
8、CVD管式爐預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口，可通過(guò)我司軟件，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能；可安裝無(wú)紙記錄裝置，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出。
9、CVD管式爐上蓋開(kāi)啟自動(dòng)斷電，超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠。
