詳細介紹
Radiant塔式薄膜壓電測量裝置可測量懸臂梁上沉積的壓電薄膜的壓電系數(shù)。施加在壓電薄膜上的電壓將使基片向不同方向彎曲。所述位移被配置在懸臂端的運動的位移傳感器捕獲。Radiant測試包可兼容72毫米(4“)和43毫米(2")兩種懸臂梁,Radiant還提供了一個塔變量(LDV)-與激光測振計或Polytec的系統(tǒng)。
Radiant塔式薄膜壓電測量裝置和Radiant高精度鐵電分析儀可以進行三種類型的測量。
1)確定隨電壓變化導致的懸臂端的位移;
2)可以執(zhí)行的第二種測試是直接的D31測量。這是通過施加一個外力致懸臂*移動,同時記錄壓電電容器產(chǎn)生的電荷來實現(xiàn)的。
3)如果使用交叉指型電極,則測量E33。
特點
準確性--重現(xiàn)性達1%, 下載和上載達 2%
可重現(xiàn)性--裝載同一樣品,測量數(shù)據(jù)沒有變動
靈活性--薄膜或塊體,生產(chǎn)或科研均適合
多樣性—可容納不同幾何形狀的樣品
操作簡便
不昂貴