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XL-80：XL-80全新輕型激光干涉儀
雷尼紹XL-80激光干涉儀為坐標(biāo)測(cè)量機(jī) （CMM） 和機(jī)床等運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)提供高性能測(cè)量和校準(zhǔn)。準(zhǔn)確穩(wěn)定的激光源和準(zhǔn)確的環(huán)境補(bǔ)償，保證了±0.5 ppm的線性測(cè)量精度?？梢愿哌_(dá)50 kHz頻率讀取數(shù)據(jù)，

XL-80：XL-80全新輕型激光干涉儀

 

雷尼紹XL-80激光干涉儀為坐標(biāo)測(cè)量機(jī) (CMM) 和機(jī)床等運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)提供高性能測(cè)量和校準(zhǔn)。

精度和動(dòng)態(tài)性能

準(zhǔn)確穩(wěn)定的激光源和準(zhǔn)確的環(huán)境補(bǔ)償，保證了±0.5 ppm的線性測(cè)量精度?？梢愿哌_(dá)50 kHz頻率讀取數(shù)據(jù)，高線性測(cè)量速度可達(dá)4 m/s，即使在高速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。所有測(cè)量選項(xiàng)（不只是線性）均采用干涉法測(cè)量，使您對(duì)記錄數(shù)據(jù)的精度有信心。

 

XL-80激光干涉儀裝置：

XL-80激光頭可以產(chǎn)生非常穩(wěn)定的激光光束，采用的波長可溯源至國家和標(biāo)準(zhǔn)。

特性與優(yōu)點(diǎn)

• 激光穩(wěn)頻精度通過熱控制技術(shù)將激光管長度變化控制在幾納米范圍內(nèi)，達(dá)到3年內(nèi)精度保持在±0.05 ppm（百萬分之一）。
• 線性測(cè)量精度在整個(gè)環(huán)境范圍內(nèi)，即從0 ºC - 40 ºC（32 ºF - 104 ºF）和650毫巴 - 1150毫巴的范圍內(nèi)，精度為±0.5 ppm?？梢愿哌_(dá)50 kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，高線性測(cè)量速度可達(dá)4 m/s，即使在高速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。
• 儀器內(nèi)置的USB意味著激光系統(tǒng)與計(jì)算機(jī)之間無需單獨(dú)的接口。
• 激光頭前部的一排LED狀態(tài)指示燈顯示激光狀態(tài)和信號(hào)強(qiáng)度，相當(dāng)于將屏幕軟件上的“狀態(tài)顯示”擴(kuò)展到激光頭上。
• 可以在標(biāo)準(zhǔn) (40 m) 和長 (80 m) 距離模式之間切換。
• 模擬I/O端口允許模擬信號(hào)輸出和觸發(fā)信號(hào)輸入。
• 預(yù)熱時(shí)間少于6分鐘。
• 外接開關(guān)電源允許輸入電壓在90V - 264 V之間變化。
• CARTO軟件可以進(jìn)行線性、角度、回轉(zhuǎn)軸、直線度和垂直度測(cè)量。其他測(cè)量模式則需要使用LaserXL。

 

 

規(guī)格 公制 英制:
線性測(cè)量長度范圍* 0 m – 80 m 0 in – 3200 in
測(cè)量精度
（利用XC-80補(bǔ)償器）
±0.5 ppm
(±0.5µm/m)
分辨率 0.001 µm 0.1 µin
* 0 m - 40 m（標(biāo)準(zhǔn)）。
線性（上述）和其他測(cè)量模式的性能規(guī)格的置信度達(dá)到95% (k = 2)，并在整個(gè)環(huán)境工作范圍內(nèi)有效。

規(guī)格 公制 英制
軸向量程 0 m - 15 m 0 in - 590 in
角度測(cè)量范圍 ±175 mm/m ±10°
角度精度
角度精度（已校準(zhǔn)）
±0.002A ±0.5 ±0.1M微弧度
±0.0002A ±0.5 ±0.1M微弧度*
±0.002A ±0.1 ±0.007F角秒
±0.0002A ±0.1 ±0.007F角秒
分辨率 0.1 µm/m 0.01角秒
* 溫度范圍： 20 °C ±5 °C
A = 顯示的角度讀數(shù) M = 以米計(jì)的測(cè)量距離 F = 以英尺計(jì)的測(cè)量距離

規(guī)格 公制 英制
軸向量程 （短距離）
（長距離）
0.1 m - 4.0 m
1 m - 30 m
4 in - 160 in
40 in - 1200 in
直線度測(cè)量范圍 ±2.5 mm ±0.1 in
精度 （短距離）
（長距離） ‡
±0.005A ±0.5 ±0.15 M2 µm
±0.025A ±5 ±0.015 M2 µm
±0.005A ± 20 ±0.5 F2 µin
±0.025A ±200 ±0.05 F2 µin
分辨率 （短距離）
（長距離）
0.01 µm
0.1 µm
1 µin
10 µin
A = 顯示的直線度讀數(shù)
M = 以米計(jì)的測(cè)量距離； F = 以英尺計(jì)的測(cè)量距離；
‡ 視環(huán)境條件而定


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