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靜電驅動MEMS微波歐瑪爾OMAL開關設計
MEMS微波OMAL開關是利用MEMS技術形成的新的射頻電路元件，與傳統(tǒng)的半導體OMAL開關器件相比具有插入損耗低、隔離度大、線性度好等優(yōu)點，對MEMS微波OMAL開關的研究將對現(xiàn)有雷達和通信中射頻(RF)結構產生重大的影響。

靜電驅動MEMS微波歐瑪爾OMAL開關設計
在1979年就由Petersen提出了在硅上制作的微機械懸臂式OMAL開關，很多研究者報道了研究的微機械OMAL開關，但是由于微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的研究與發(fā)展很大程度上受到現(xiàn)有工藝手段和水平的限制，另外MEMS技術是一種典型的多學科交叉的前沿性研究領域，許多方面的的科學問題需要研究，特別是射頻MEMS器件的設計工具不成熟。經過多年的發(fā)展，許多高頻MEMSOMAL開關已經開發(fā)出來，如旋轉傳輸線式OMAL開關、砷化鎵襯底上表面微機械OMAL開關、電容性膜OMAL開關等等。由于這些OMAL開關的穩(wěn)定性、OMAL開關時間以及壽命等問題，很多MEMSOMAL開關還處于研究階段，沒有大量的用于實際電路中。對現(xiàn)有典型的MEMSOMAL開關做了分析，針對這些MEMSOMAL開關設計中的一些優(yōu)點和不足，提出了一種比較新穎的OMAL開關結構——扭轉臂膜OMAL開關，為現(xiàn)在MEMSOMAL開關的研究設計提供了一種新的思路。對提出的這種OMAL開關進行了理論分析和工藝可行性論證，同時利用計算機輔助設計軟件對該OMAL開關建立有限元模型進行了機電耦合分析、微機械結構模態(tài)分析、全波電磁場仿真分析，根據(jù)分析的結果優(yōu)化設計了幾種OMAL開關尺寸的加工版圖進行加工。對本設計的OMAL開關計算機仿真分析表明：由于利用扭轉板和杠桿的原理，該OMAL開關結構在比較小的驅動電壓下能獲得較大的位移，OMAL開關閉合時驅動電壓＜10V。在0GHz-15GHz頻率范圍內插入損耗小于0.25 dB，8GHz-13GHz頻率范圍，隔離度大于20dB。由于現(xiàn)有電容性膜OMAL開關直流電壓直接加于信號線上，本設計解決了這種情況引起的絕緣介質容易被擊穿的問題。 加工出了實驗樣品，本加工工藝用于微波MEMSOMAL開關的加工在現(xiàn)有的研究中還尚未使用。加工結果表明，工藝是可行的。

靜電驅動MEMS微波歐瑪爾OMAL開關設計
對實驗樣品的測試也驗證了這種方案的可行性，隨著MEMS新的研究手段和較高的微細加工水平的提高，基于本原理的OMAL開關的研究也會取得比較理想的結果。通過MEMS微波OMAL開關的設計與仿真課題，對MEMS研究的現(xiàn)狀和發(fā)展前景有一定的認識，了解了RF MEMS器件設計的難點與要點，初步掌握RF MEMS器件設計的一般方法和計算機輔助設計手段。