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KOSAKA LAB ET 200A微細形狀測定機（探針接觸式臺階儀）株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。設(shè)備特點：KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準確的定位測試區(qū)域。l 電腦架、防震桌為選配件l 可選擇獨立 8"螢?zāi)伙@示探針下針位置，也可集成于電腦螢?zāi)恢谐尸F(xiàn) ˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉˉ規(guī)格一、樣品臺：1. 樣品臺尺寸：φ160mm2. 最大工件尺寸：φ200mm3. 最大工件厚度：52mm4. 最大工件重量：2kg5. 傾斜調(diào)整范圍：±2°(±5mm/160mm)6. 樣品臺材質(zhì)：黑色硬質(zhì)鋁7. 手動旋轉(zhuǎn)：360°(手動粗調(diào))、±5°(微調(diào)，最小約0.5°)二、傳感器（pick up）：1. 原理：直動式傳感器 （業(yè)界）2. Z方向測定范圍：Max. 600µm3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時)4. 測定力： 10uN ~500uN5. 觸針半徑：2 µm 60° 鉆石針頭 （另有多種可選）6. 驅(qū)動方式：直動式7. 再現(xiàn)性：1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)三、X 軸 (基準軸/測量軸)：1. 移動量(最大測長)：100mm (±50mm)2. 真直度：0.2µm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)3. 移動,測定速度：0.005~20mm/s4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1µm5. 位置重復(fù)誤差：±5um四、Z軸：1. 移動量：54mm2. 移動速度：max.2.0mm/S3. 檢出器自動停止機能六、Y軸：（手動定位用）1. 移動量：25mm（±12.5mm）七、工件觀察：1. 彩色1/3"CCD，x4物鏡倍率2. 綜合倍率：約320倍 (使用19" monitor時)3. 視野：1.2*0.9mm4. 觀察方向：右側(cè)斜視5. 照明：白色LED（可使用軟件調(diào)整明暗度）八、軟件功能簡介：1. 型號：i-STAR312. 可設(shè)定測量條件菜單、重復(fù)測量設(shè)定、解析菜單3. 可設(shè)定下針座標，實現(xiàn)定位后自動測量及解析功能4. 可設(shè)定低通濾波，過濾噪音及雜訊5. 具有返回測量啟始點功能6. 顯示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍7. 解析功能：主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內(nèi)應(yīng)力分析、內(nèi)建多種段差解析菜單可選九、床臺：一體花崗巖十、防振臺(選購)：落地型或桌上型十一、電源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA十二、本體外觀尺寸及重量：W500×D440×H610mm, 120kg，一體花崗巖低重心結(jié)構(gòu)(不含防震臺