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尾氣處理設(shè)備-scrubber

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  • 型號(hào) scrubber全類型
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  • 所在地 蘇州市
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更新時(shí)間:2023-12-01 15:05:47瀏覽次數(shù):2800

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

坐落于中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所,與德國(guó)及韓國(guó)相關(guān)企業(yè)合作,主要致力于研發(fā)及生產(chǎn)各種系列的廢氣凈化材料及尾氣處理設(shè)備,在國(guó)內(nèi)擁有獨(dú)立的知識(shí)產(chǎn)權(quán),并擁有*的吸附劑測(cè)試平臺(tái),目前已經(jīng)在半導(dǎo)體芯片制造、LED、FPD、Solar以及各科學(xué)研究所得到廣泛應(yīng)用。
我司有各類專業(yè)吸附劑,吸附劑也稱吸收劑,氣體吸附分離成功與否,極大程度上依賴于吸附劑的性能,因此選擇吸附劑是確定吸附操作的首要問題。

詳細(xì)介紹

一想到半導(dǎo)體行業(yè),大家想到的是機(jī)械生產(chǎn),材料,電子電器,與污染兩個(gè)字似乎也沒有什么關(guān)系。但事實(shí)上,半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機(jī)物和無機(jī)物,包括許多有毒有害物質(zhì),對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重。如不通過尾氣處理設(shè)備對(duì)廢氣尾氣加以控制,將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
 
  半導(dǎo)體尾氣處理器
 
  等離子水洗Local Scrubber設(shè)備,干式等
 
  該設(shè)備主要去除半導(dǎo)體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產(chǎn)生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
 
  噴淋塔
 
  對(duì)于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ,半導(dǎo)體廠封閉車間大都采用大型臥式洗滌塔進(jìn)行廢氣處理。
 

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