我司有各類專業(yè)吸附劑,吸附劑也稱吸收劑,氣體吸附分離成功與否,極大程度上依賴于吸附劑的性能,因此選擇吸附劑是確定吸附操作的首要問題。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
我司有各類專業(yè)吸附劑,吸附劑也稱吸收劑,氣體吸附分離成功與否,極大程度上依賴于吸附劑的性能,因此選擇吸附劑是確定吸附操作的首要問題。
詳細(xì)介紹
一想到半導(dǎo)體行業(yè),大家想到的是機(jī)械生產(chǎn),材料,電子電器,與污染兩個(gè)字似乎也沒有什么關(guān)系。但事實(shí)上,半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中使用了大量有機(jī)物和無機(jī)物,包括許多有毒有害物質(zhì),對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重。如不通過尾氣處理設(shè)備對(duì)廢氣尾氣加以控制,將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。
半導(dǎo)體尾氣處理器
等離子水洗Local Scrubber設(shè)備,干式等
該設(shè)備主要去除半導(dǎo)體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產(chǎn)生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
噴淋塔
對(duì)于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 ,半導(dǎo)體廠封閉車間大都采用大型臥式洗滌塔進(jìn)行廢氣處理。