APTECH調(diào)壓閥
產(chǎn)品型號：AZ1015S 2PW FV4 FV4 關(guān)鍵字：APTECH調(diào)壓閥AZ1000 關(guān)鍵字描述：SS 316L結(jié)構(gòu)，清洗，組裝和包裝用于高純度半導(dǎo)體應(yīng)用。 產(chǎn)品介紹： SS 316L結(jié)構(gòu) 10 µin.表面處理（25 µin.可選） 真空至3500 psig（241 bar）入口 1至300 psig（0.07至21 bar）出口 清洗，組裝和包裝用于高純度半導(dǎo)體應(yīng)用 流量 -標(biāo)準(zhǔn)至30 slpm -HF選項為120 slpm 使用點應(yīng)用的 調(diào)節(jié)器 旋鈕LOTO 參數(shù)： 傳輸壓力：5至150 psig（0.34至10 bar） 耐壓：工作壓力的150％ 爆破壓力：工作壓力的300％ 流量系數(shù)（Cv）：0.09（可選0.15 HF） 內(nèi)部容積：0.49 in3（8 cm3） 端口：2口對接焊 閥體，噴嘴：SS 316L 隔膜：SS 316L 涂層：電拋光和鈍化 閥座：PCTFE（可選聚酰亞胺和PTFE） 入口/出口連接：1/4英寸面密封，母接頭 舷內(nèi)泄漏：2 x 10-10 sccs 舷外泄漏：2 x 10-9 sccs He 座椅泄漏：4 x 10-8 sccs 安裝面或面板（可選） 工作溫度：-40°至+ 160°F（-40°至+ 71°C）
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