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日立分析儀器(上海)有限公司(浦東分公司)>>技術(shù)文章>>X熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x的三大功能特點(diǎn)分析

X熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x的三大功能特點(diǎn)分析

閱讀:538        發(fā)布時(shí)間:2018-9-5
FT110A X熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x通過自動(dòng)定位功能,只需把樣品放在樣品臺(tái)上,便能在數(shù)秒內(nèi)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn),省略了以前手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作,大幅提高了測(cè)量效果,鍍層厚度測(cè)量?jī)x熒光或成分分析儀的原理就是測(cè)量這被釋放出來的熒光的能量及強(qiáng)度,來進(jìn)行定性和定量分析。  

X熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x具有自動(dòng)對(duì)焦功能自動(dòng)接近功能  
在樣品臺(tái)上放置各種高度的樣品時(shí),只要高低差在80mm范圍內(nèi),即可在3秒內(nèi)自動(dòng)對(duì)焦被測(cè)樣品。由此進(jìn)一步提高定位操作的便捷性。  
●自動(dòng)對(duì)焦功能簡(jiǎn)便的攝像頭對(duì)焦  
●自動(dòng)接近功能位置的對(duì)焦  

X熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x能通過新薄膜FP法提高測(cè)量精度  
日立FT110AX射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x實(shí)現(xiàn)微小光束的高靈敏度,通過微小準(zhǔn)直器提高了膜厚測(cè)量精度。鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2。另外,針對(duì)檢測(cè)器的特性開發(fā)了新的EP法,可進(jìn)行無標(biāo)樣測(cè)量。測(cè)量結(jié)果可一鍵生成報(bào)告書,簡(jiǎn)單方便。  
●新薄膜EP法  
減少檢量線制作的繁瑣程度、實(shí)現(xiàn)了設(shè)定測(cè)量條件的簡(jiǎn)易化  
無標(biāo)樣測(cè)量方法可進(jìn)行zui多5層的膜厚測(cè)量  
●自動(dòng)對(duì)焦功能和距離修正功能  
凹凸落差的樣品可通過薄膜EP法做成的相同測(cè)定條件進(jìn)行測(cè)量  
●靈敏度提高  
鍍層測(cè)量時(shí)間比本公司原有機(jī)型縮短了1/2  
●生成報(bào)告功能  
一鍵生成測(cè)量報(bào)告書  

X熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x可進(jìn)行廣域樣品觀察  
FT110A對(duì)測(cè)量平臺(tái)(250mm*200mm)上放置的樣品拍攝一張靜態(tài)畫面后,可在獲取的廣域觀察圖像上狹域的觀察位置。由此,可大幅減少多數(shù)測(cè)量點(diǎn)位置的選取時(shí)間,以及在圖像上難以尋找的特定點(diǎn)位置的選定時(shí)間。
 

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