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X射線(xiàn)發(fā)生系統(tǒng)為X射線(xiàn)聚焦光學(xué)系統(tǒng)（聚焦導(dǎo)管）與X射線(xiàn)源相結(jié)合，并且可以照射出實(shí)際照射直徑為0.1mmΦ以下高強(qiáng)度的X射線(xiàn)束。為此，可以對(duì)以往X射線(xiàn)熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x由于照射強(qiáng)度不足而無(wú)法得到理想精度的導(dǎo)線(xiàn)架、插接頭、柔性線(xiàn)路板等微小部件及薄膜進(jìn)行測(cè)量。同時(shí)搭載高計(jì)數(shù)率、高分辨率的半導(dǎo)體檢測(cè)器，在測(cè)量鍍層厚度的同時(shí)，也能對(duì)RoHS、ELV、中國(guó)版RoHS等法規(guī)所管制的有害物質(zhì)進(jìn)行分析測(cè)量。

1. 薄膜及多層膜測(cè)量

通過(guò)采用新型的毛細(xì)管（X射線(xiàn)聚光系統(tǒng)）和X射線(xiàn)源，把與以往機(jī)型FT9500同等強(qiáng)度的X射線(xiàn)聚集在30 μmΦ的極微小范圍。因此，不會(huì)改變測(cè)量精度即可測(cè)量幾十微米等級(jí)的微小范圍。同時(shí)，也可對(duì)幾十納米等級(jí)的Au/Pd/Ni/Cu多鍍層的各層膜厚進(jìn)行高精度測(cè)量。

2. 異物分析

通過(guò)高能量微小光束和高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器的組合，可進(jìn)行微小異物的定性分析。利用CCD攝像頭選定樣品的異物部分并照射X射線(xiàn)，通過(guò)與正常部分的能譜差進(jìn)行異物的定性分析（Al～U）。

3. 數(shù)據(jù)編輯功能

配備了Microsoft Excel和Microsoft Word。在Microsoft Excel上面配備了統(tǒng)計(jì)處理軟件，可以進(jìn)行測(cè)量數(shù)據(jù)、平均值、zui大/zui小值、C.V.值、Cpk等的統(tǒng)計(jì)處理。 另外，通過(guò)Microsoft Word可以簡(jiǎn)單的制作包含了樣品畫(huà)圖的測(cè)量報(bào)告書(shū)。

4. 高強(qiáng)度照射

通過(guò)高強(qiáng)度照射在微小部分也可以鮮明的觀察、聚焦位置。

5. 樣品工作臺(tái)

配備等同與FT9550X的大型樣品臺(tái)，能夠?qū)Υ笮途€(xiàn)路板等樣品進(jìn)行整體排列測(cè)量對(duì)應(yīng)。

FT110A 日立熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x通過(guò)自動(dòng)定位功能，只需把樣品放在樣品臺(tái)上，便能在數(shù)秒內(nèi)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn)，省略了以前手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作，大幅提高了測(cè)量效果，鍍層厚度測(cè)量?jī)x熒光或成分分析儀的原理就是測(cè)量這被釋放出來(lái)的熒光的能量及強(qiáng)度，來(lái)進(jìn)行定性和定量分析。