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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日立SEM二手S-4300掃描電子顯微鏡采用大樣品室的半內(nèi)透鏡設(shè)計(jì)，卻能達(dá)到分辨率，可以與內(nèi)透鏡UHR掃描電鏡相媲美。
詳細(xì)介紹
日立SEM二手S-4300 SEM EDX 掃描電鏡 核心參數(shù)
電子槍: 場(chǎng)發(fā)射 加速電壓: 0.3kV～30kV
放大倍數(shù): x 20~ x 800,000 分辨率: 1.2nm
抽真空時(shí)間: 30秒 真空度: ＜1*10-7
日立SEM二手S-4300詳細(xì)介紹
S-4300高分辨冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡 日立S4800掃描電子顯微鏡采用大樣品室的半內(nèi)透鏡設(shè)計(jì)，卻能達(dá)到超高分辨率，可以與內(nèi)透鏡UHR掃描電鏡相媲美。
特點(diǎn)：
1. 新型物鏡采用ExB設(shè)計(jì)。使用單檢測(cè)器和超級(jí)ExB可以分別收集和分離單純 二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號(hào)。
2. 1KV低加速電壓時(shí)保證有2.0nm的分辨率。
3. 兩種樣品臺(tái)可選：I型50mm x 50mm小樣品臺(tái)或Ⅱ型110mm x 110mm大樣品臺(tái)。
4. 包括渦輪分子泵在內(nèi)的先進(jìn)的真空系統(tǒng)。
5. 便于用戶使用的、基于圖形用戶界面的控制系統(tǒng)，包含多種自動(dòng)功能，
操作簡(jiǎn)易性能指標(biāo)： 二次電子分辨率 1.0nm (15kV) 2.0nm (1 kV) 1.4nm (1 kV，減速模式)
電子槍 冷場(chǎng)發(fā)射電子源
加速電壓 0.5~30kV(0.1KV/步，可變)
放大倍率 x 20~ x 800,000
物鏡光闌 4孔，真空外選擇和調(diào)校(內(nèi)置加熱器)
檢測(cè)器 二次電子檢測(cè)器 (高位/低位) 背散射電子檢測(cè)器(可選) EDX(可選) 透射電子檢測(cè)器(可選) 法拉第杯(可選)
樣品臺(tái) l型: X: 0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5°~70°R:360°
驅(qū)動(dòng):手動(dòng)(可選3軸/5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)) ll型: X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm Z: 1.5 ~40 mm T: -5°~ 70° R: 360°驅(qū)動(dòng): 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
操作/顯示 操作系統(tǒng)： WindowsTM XP
圖像儲(chǔ)存 640 x 480, 1,280 x 960, 2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
離子泵 3 臺(tái) 渦輪分子泵(磁浮型) 1 臺(tái) 機(jī)械泵 1 臺(tái)
