詳細(xì)介紹
二手日立S-4300場(chǎng)發(fā)射電鏡設(shè)計(jì)具有以下特點(diǎn):
1) 高亮度光源肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
2) 高探針電流
3) 長(zhǎng)、短程電子束穩(wěn)定
4) 高分辨率
S-4300SE可以與多種附件相結(jié)合,如陰J發(fā)光(CL),背反射電子衍射圖形(EBSP),X-射線能譜(EDX),電子描畫(EB)。
技術(shù)指標(biāo)
二次電子成像分辨率:1.5nm(30kV), 5.0nm(1kV)
20x~5,000,000x
電子光學(xué):
電子槍:ZrO/W 肖特基發(fā)射電子源 (內(nèi)置陽(yáng)J加熱)
加速電壓:0.5~30 kV (0.1kV/步)
透鏡系統(tǒng):2級(jí)電磁透鏡
物鏡光闌:4孔光闌,真空外選擇和調(diào)校,加熱自清理薄光闌板.
象散校正:電磁象散校正器
掃描線圈:2級(jí)電磁系統(tǒng)肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
樣品臺(tái):(1)標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)X:0~25 mmY:0~25 mm
Z:5~ 30 mm 傾斜: -5~+45°(優(yōu)中心)
旋轉(zhuǎn):360°(連續(xù))
樣品尺寸:直徑120mm (Z大)
(2)大樣品臺(tái)X:0~100 mm Y:0~50mm
Z:5~35 mm 傾斜: -5~+60°(優(yōu)中心)
旋轉(zhuǎn):360°(連續(xù))
樣品尺寸:直徑160mm (Z大)
(3)大的優(yōu)中心樣品臺(tái)
X:0~100mm Y:0~50 mm Z:5~35 mm
傾斜: -5~+75°(優(yōu)中心) 旋轉(zhuǎn):360°(連續(xù))
樣品尺寸:直徑160mm (Z大)肖特基場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
圖像顯示系統(tǒng):
CRT顯示語(yǔ)言:100 mmdia. × 17mm H
PC操作系統(tǒng) :(150 mmdia. × 6 mm H 可選)
二手日立S-4300場(chǎng)發(fā)射電鏡操作:
顯示器:英語(yǔ)(日語(yǔ))
自動(dòng)調(diào)整功能:PC/AT兼容, Windows NT
圖像過(guò)程: 17 或 21 英寸彩色CRT
圖像儲(chǔ)存:自動(dòng)聚焦,自動(dòng)象散校正,自動(dòng)亮度、對(duì)比度調(diào)節(jié),自動(dòng)啟動(dòng),自動(dòng)攝像
圖像編輯:
文件格式:SEM數(shù)據(jù)管理軟件
自動(dòng)數(shù)據(jù)顯示:640 x 480,1,280 x 960,2,560 x 1,920pixels 具有多種搜索功能的圖像數(shù)據(jù)庫(kù).
電子圖像移動(dòng):BMP (TIFF, JPEG)
真空系統(tǒng):加速電壓,放大微米標(biāo)尺,微米值,膠卷號(hào),工作距離,日期,時(shí)間,攝像放大倍率,檢測(cè)器.
離子泵:±30 μm (WD = 30 mm)
前級(jí)泵:氣動(dòng)閥全自動(dòng)控制
渦管泵:~10-7 Pa (電子槍), ~10-4 Pa (樣品室)