主要功能及技術(shù)指標(biāo)

二手日立噴金儀主要功能：

1. 二次電子形貌（SEI）：對(duì)試樣進(jìn)行表面形貌觀察分析；2. 背反射成分像/形貌像（BEI）：對(duì)試樣進(jìn)行更深一層的形貌觀察，并得到原子序數(shù)襯度；3. 元素的定性定量分析（EDX）：結(jié)合X射線能譜儀對(duì)試樣表面某區(qū)域或某點(diǎn)進(jìn)行成分定性和定量分析；4. 圖像分析處理系統(tǒng)（IPS）：根據(jù)所得圖像，對(duì)試樣進(jìn)行粒度、孔徑大小、氣孔分布等進(jìn)行分析。

主要技術(shù)指標(biāo)：HORIBA EX-250型能譜儀。分析元素范圍：Be4～U92號(hào)元素。

（1）分辨率：1.0nm (15kV)；1.0nm (1kV)

（2）加速電壓：0.5 ~ 30kV，0.1kV/步

（3）放大倍率：×20 ~ ×800,000

（4）束流強(qiáng)度：1pA～2nA

（5）樣品室和樣品臺(tái)：樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng)：3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)；移動(dòng)范圍：X：0~50mm；Y：0~50mm；Z：1.5~30mm；T：-5~+70°；R：360°；樣品尺寸：100mm

（6）

其它備注

1. 主機(jī)(包括電子光學(xué)系統(tǒng)；氣閥自動(dòng)調(diào)節(jié)真空系統(tǒng)，配備三臺(tái)離子泵、一臺(tái)渦輪分子泵、一臺(tái)機(jī)械泵；高位/低位二次電子檢測(cè)器；3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)I型樣品臺(tái)。

2. 自動(dòng)變壓器。

3. 冷卻循環(huán)水系統(tǒng)。

4. HORIBA EX-250型能譜儀。

5. 日立 E-1010型離子濺射儀。