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JKZC-ST4型半導(dǎo)體材料四探針測試儀

關(guān)鍵詞：電阻，電阻率，四探針，半導(dǎo)體

膜探頭測薄膜                  鎢針探頭

一、產(chǎn)品概述

    JKZC-ST4型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、測量簡便、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點(diǎn)。

儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。

二、符合：

1、符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、

2、符合GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》

3、符合美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)

二、產(chǎn)品應(yīng)用：

1、測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；

2、可測柔性材料導(dǎo)電薄膜電阻率/方阻

3、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜（ITO膜）電阻率/方阻

4、納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻

5、電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量

6、可測試電池極片等箔上涂層電阻率方阻

二、基本技術(shù)參數(shù)

1、  測量范圍

     電  阻：1×10-4～2×105 Ω   ，分辨率：1×10-5～1×102 Ω

   電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm

   方  阻：5×10-4～2×105 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□

2、測量方式：自動或手動

3、基本精度：±0.1/%

4、四探針探頭：

   (1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調(diào)

   (2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可

5. 電源：198V －242V(AC），47.5Hz －63Hz

6、操作環(huán)境：  0°C －40°C ，≤90%RH

7、外形尺寸：200mm（長）×220 mm（寬）×100mm（高）

8、數(shù)據(jù)傳輸方式；USB

9、軟件方式：人性化分析軟件界面，數(shù)據(jù)自動生成 

                      分析軟件（一）