目錄:北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司>>光電學(xué)測試系統(tǒng)>> 雙光束激光干涉儀 aixDBLI
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,冶金,航天,電氣 |
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雙光束激光干涉儀 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)
雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測試。
這一臺適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測試。
大量樣品測試的重復(fù)精度可達(dá)2%以上。
測試功能:
機(jī)電大信號應(yīng)變、極化、壓電系數(shù)、小信號介電常數(shù)。
疲勞和電性及機(jī)械性能可靠性。
樣品測試:
極化曲線和位移曲線。
小信號電容及壓電系數(shù)。
技術(shù)參數(shù):
分辨率: ≤1 pm(X晶向的石英)
測量范圍:5pm- +/- 25nm
波長:632.8nm
位移/應(yīng)力測試:>50Hz,最小1Hz分辨率,100mV到10V(可選到200V)
壓電d33系數(shù):
基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz),可選到200V
小信號100mV到10V(1kHz到5kHz)
C-V測試:
基電壓100mV到10V(1mHz到1Hz),可選到200V
小信號100mV到10V(1kHz到5kHz)
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