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高溫壓電振動(dòng)傳感器及陶瓷材料研究應(yīng)用進(jìn)展

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高溫壓電振動(dòng)傳感器及陶瓷材料研究應(yīng)用進(jìn)展


蘇州長(zhǎng)風(fēng)航空電子有限公司,中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所,高性能陶瓷和超微結(jié)構(gòu)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

 

摘要:高溫壓電振動(dòng)傳感器是航空發(fā)動(dòng)機(jī)健康管理系統(tǒng)振動(dòng)狀態(tài)測(cè)量的專(zhuān)用特殊傳感器,高溫壓電陶瓷材料是其關(guān)鍵核心敏感元件。與普通傳感器相比,由于應(yīng)用環(huán)境復(fù)雜,對(duì)其在高溫長(zhǎng)時(shí)服役的可靠性與穩(wěn)定性提出了更高要求。分別綜述了航空發(fā)動(dòng)機(jī)用高溫壓電振動(dòng)傳感器及其所用敏感元件壓電陶瓷材料的國(guó)內(nèi)外研究應(yīng)用進(jìn)展,并結(jié)合當(dāng)前航空發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)測(cè)量需求對(duì)該特殊用途壓電振動(dòng)傳感器及壓電陶瓷材料的前景進(jìn)行展望,以期為國(guó)內(nèi)高溫壓電振動(dòng)傳感器及陶瓷材料的研制指明方向。

 

關(guān)鍵詞:高溫壓電振動(dòng)傳感器;壓電陶瓷材料;航空發(fā)動(dòng)機(jī);研究進(jìn)展

 

引言

 

測(cè)量專(zhuān)用特殊傳感器,利用壓電材料的正壓電效應(yīng)進(jìn)行測(cè)量,具有自發(fā)電、使用溫度高、體積小、抗電磁干擾能力強(qiáng)、壽命長(zhǎng)、可靠性高等優(yōu)點(diǎn),對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)健康評(píng)估、故障預(yù)測(cè)與診斷起到關(guān)鍵作用。高溫壓電陶瓷材料是其關(guān)鍵核心敏感元件,與慣性質(zhì)量塊等形成組件,實(shí)現(xiàn)振動(dòng)信號(hào)向電信號(hào)轉(zhuǎn)換,決定著傳感器的使用性能。與普通壓電振動(dòng)傳感器相比,由于航空發(fā)動(dòng)機(jī)工作環(huán)境惡劣且振動(dòng)監(jiān)測(cè)位置關(guān)鍵,傳感器除需具有較高耐溫和抗振性能外,還應(yīng)具備高溫長(zhǎng)時(shí)工作的可靠性與穩(wěn)定性。同時(shí),隨著近年來(lái)航空發(fā)動(dòng)機(jī)推重比增加和健康監(jiān)測(cè)全面化,對(duì)高溫度和更寬頻響的高溫壓電振動(dòng)傳感器和壓電元件需求更加迫切。

 

本文分別綜述了航空發(fā)動(dòng)機(jī)用高溫壓電振動(dòng)傳感器及其所用敏感元件壓電陶瓷材料的國(guó)內(nèi)外研究應(yīng)用進(jìn)展,并結(jié)合當(dāng)前航空發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)測(cè)量需求對(duì)該特殊用途壓電振動(dòng)傳感器及壓電陶瓷材料的前景進(jìn)行展望,以期為國(guó)內(nèi)高溫壓電振動(dòng)傳感器及陶瓷材料的研制指明方向。

 

高溫壓電振動(dòng)傳感器

 

高溫壓電振動(dòng)傳感器(又稱(chēng)高溫壓電加速度計(jì)),是用高溫壓電材料作為敏感元件,利用其正壓電效應(yīng)將輸入的振動(dòng)加速度轉(zhuǎn)換為電荷信號(hào)輸出實(shí)現(xiàn)測(cè)量。目前,根據(jù)裝配結(jié)構(gòu)和工作原理不同,高溫壓電振動(dòng)傳感器主要有壓縮型和剪切型兩種。壓縮型傳感器結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,可承受高gn值沖擊,但由于壓電元件與底座緊密接觸,對(duì)底座彎曲(應(yīng)變)較為敏感,內(nèi)部零件沿敏感軸的熱脹冷縮效應(yīng)會(huì)影響傳感器信號(hào)的輸出。與壓縮型結(jié)構(gòu)相比,剪切型結(jié)構(gòu)通常具有更高的輸出、更小的尺寸、更大的帶寬和更低的橫向輸出,同時(shí)由于不直接與壓電元件接觸,具有更低的瞬變溫度靈敏度和更好的溫度性能,但對(duì)于壓電元件的固定存在一定困難。


 

圖1 高溫壓電振動(dòng)傳感器結(jié)構(gòu)

 

2 高溫壓電振動(dòng)傳感器研究應(yīng)用進(jìn)展

 

2.1 國(guó)外研究應(yīng)用進(jìn)展

 

隨著航空機(jī)載振動(dòng)測(cè)量技術(shù)的發(fā)展,自20世紀(jì)50年代,國(guó)外就已開(kāi)始進(jìn)行高溫壓電振動(dòng)傳感器研究。20世紀(jì)90年代后期,壓電振動(dòng)傳感器逐漸在航空發(fā)動(dòng)機(jī)(如CFM56發(fā)動(dòng)機(jī))上普遍使用,并逐步替代傳統(tǒng)的磁電式振動(dòng)傳感器。目前,國(guó)際上系列化高溫壓電振動(dòng)傳感器的使用溫度主要涵蓋260℃、482℃、538℃、649℃、760℃等不同系列。能夠生產(chǎn)出成熟高溫壓電振動(dòng)傳感器的公司僅有幾家且大都集中在美國(guó)和西歐,如美國(guó)Endevco公司、美國(guó)PCB公司、瑞士Vibro-Meter公司和丹麥B&K公司等,特別是美國(guó)Endevco公司,其生產(chǎn)的航空發(fā)動(dòng)機(jī)專(zhuān)用高溫壓電振動(dòng)傳感器產(chǎn)品性能優(yōu)異且能夠在高溫下長(zhǎng)期穩(wěn)定工作,已成為航空發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)監(jiān)控的標(biāo)準(zhǔn)傳感器。下面介紹幾種典型型號(hào)傳感器:

 

1) 6233C型高溫壓電振動(dòng)傳感器:為美國(guó)Endevco公司的產(chǎn)品,用于測(cè)量燃?xì)鉁u輪發(fā)動(dòng)機(jī)的振動(dòng)情況,具有靈敏度高、可在482℃高溫下連續(xù)工作、平均時(shí)間長(zhǎng)等特點(diǎn)。傳感器采用Endevco Piezite P-14型敏感元件和中心壓縮結(jié)構(gòu),保證了高輸出、的溫度穩(wěn)定性和寬頻響測(cè)試范圍(0.1 Hz ~ 5 kHz)。

 

2) 6237M70型高溫壓電振動(dòng)傳感器:為美國(guó)Endevco公司的產(chǎn)品,用于飛機(jī)燃?xì)鉁u輪機(jī)等超高溫環(huán)境的振動(dòng)測(cè)量,傳感器可在650℃的環(huán)境溫度下連續(xù)工作,頻率響應(yīng)范圍1 Hz ~ 5 kHz,具有尺寸小、重量輕、平均時(shí)間長(zhǎng)等特點(diǎn)。傳感器采用Endevco Piezite P-15型壓電敏感元件和剪切型結(jié)構(gòu),靈敏軸方向與安裝螺釘方向相同。

 

3) 6240M10型高溫壓電振動(dòng)傳感器:為美國(guó)Endevco公司的產(chǎn)品,可在650℃下連續(xù)工作,并間斷工作于760℃溫度下,頻響測(cè)試范圍5 Hz ~ 3 kHz。傳感器采用壓電單晶和剪切型結(jié)構(gòu),尺寸小,測(cè)試精度高,非常適合于飛機(jī)燃?xì)鉁u輪機(jī)的振動(dòng)測(cè)量。

 

4) 357E90型高溫壓電振動(dòng)傳感器:為美國(guó)PCB公司的產(chǎn)品,用于超高溫度環(huán)境下飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)燃燒室附近振動(dòng)監(jiān)測(cè),最高工作溫度649℃,極限工作溫度760℃。傳感器采用壓電單晶和剪切型結(jié)構(gòu),具有體積小、重量輕、工作環(huán)境溫度高等優(yōu)點(diǎn)。

 

5) CA134型高溫壓電振動(dòng)傳感器:為瑞士Vibro-Meter公司的產(chǎn)品,常用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)惡劣高溫環(huán)境下的振動(dòng)測(cè)量,傳感器采用VC2型材料作為敏感元件,工作穩(wěn)定,具有耐高溫、體積小、重量輕等特點(diǎn)。

 

6) CA135型高溫壓電振動(dòng)傳感器:為瑞士Vibro-Meter公司的產(chǎn)品,用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)寬頻響范圍(5 Hz~ 12 kHz)振動(dòng)狀態(tài)測(cè)量,傳感器采用PZT基壓電陶瓷和剪切型結(jié)構(gòu),最高使用溫度260℃,靈敏度高,穩(wěn)定性好。

 

7) 8347—C型高溫壓電振動(dòng)傳感器:為丹麥B&K公司的產(chǎn)品,采用剪切型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)、工業(yè)燃?xì)廨啓C(jī)、核電站、變速箱等嚴(yán)苛工作環(huán)境的振動(dòng)測(cè)量。傳感器采用加固的兩針TNC 連接器,平衡差分輸出連接,具有寬溫度(-196 ~ 482℃) 和頻響(1 Hz ~ 12.8kHz)測(cè)量范圍、可靠性與環(huán)境適應(yīng)性高等突出特點(diǎn),是目前世界上一種可在482℃實(shí)現(xiàn)寬頻響測(cè)量的壓電振動(dòng)傳感器。

 

表1為上述幾種典型高溫壓電振動(dòng)傳感器及性能指標(biāo)。

 

表1 國(guó)外典型高溫壓電振動(dòng)傳感器性能指標(biāo)

圖片

 

 

2.2 國(guó)內(nèi)研究應(yīng)用進(jìn)展

 

國(guó)內(nèi)傳感器研制和生產(chǎn)單位目前已能夠生產(chǎn)出多種規(guī)格系列的振動(dòng)傳感器產(chǎn)品,但大多僅限于常溫測(cè)試使用。對(duì)于高溫壓電振動(dòng)傳感器的研究始于20世紀(jì)70年代,主要還是為了滿足航天技術(shù)發(fā)展的需求。近年來(lái),隨著國(guó)家對(duì)航空工業(yè)的大力支持和航空發(fā)動(dòng)機(jī)振動(dòng)測(cè)量需求的逐漸提高,*工類(lèi)生產(chǎn)單位如國(guó)營(yíng)第一七一廠、國(guó)營(yíng)第一六一廠、中電26所等,民營(yíng)企業(yè)如慧石(上海)測(cè)控科技有限公司、廈門(mén)乃爾電子有限公司等均開(kāi)展了高溫壓電振動(dòng)傳感器的研制和生產(chǎn)工作,典型牌號(hào)有GGZ—9,GGZ—10,GGZ—25,GGZ—26,GGZ—34,GGZ—35等,部分產(chǎn)品已實(shí)現(xiàn)應(yīng)用。然而,目前國(guó)內(nèi)航空發(fā)動(dòng)機(jī)用高溫壓電振動(dòng)傳感器產(chǎn)品種類(lèi)較為單一,僅具備260℃和482℃兩種系列傳感器的研制生產(chǎn)能力,部分傳感器長(zhǎng)時(shí)使用尚存在靈敏度漂移現(xiàn)象,可靠性、穩(wěn)定性和長(zhǎng)時(shí)高溫工作性能等方面與國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品相比尚存在一定差距。對(duì)于高溫寬頻壓電振動(dòng)傳感器(-55 ~ 482℃,1 Hz ~12.8 kHz)和650℃以上的超高溫壓電振動(dòng)傳感器尚未研發(fā)成功,諸多技術(shù)瓶頸尚未掌握。此外,與國(guó)外傳感器研制生產(chǎn)單位不同,國(guó)內(nèi)傳感器研制生產(chǎn)單位尚未形成從壓電元件到傳感器的完整鏈條,一定程度上影響了傳感器研發(fā)周期。

 

3 高溫壓電陶瓷材料

 

高溫壓電陶瓷材料是高居里溫度、高壓電系數(shù)、高電阻率和低介電損耗,且能夠在較高溫度下穩(wěn)定使用的壓電陶瓷材料。作為高溫壓電振動(dòng)傳感器的核心敏感元件,高溫壓電陶瓷材料在航空、航天、核能、冶金、石油化工、地質(zhì)勘探等領(lǐng)域需求廣泛。根據(jù)晶體結(jié)構(gòu)不同,高溫壓電陶瓷材料主要包括鈣鈦礦結(jié)構(gòu)、鎢青銅結(jié)構(gòu)、鉍層狀結(jié)構(gòu)和鈣鈦礦層狀結(jié)構(gòu)等4種。表2對(duì)比列出了不同體系壓電材料與壓電振動(dòng)傳感器應(yīng)用相關(guān)參數(shù),其中使用較為廣泛的是以PZT基為代表的鈣鈦礦結(jié)構(gòu)壓電陶瓷材料和鉍層狀結(jié)構(gòu)壓電陶瓷材料。

表2 不同體系壓電材料與傳感器應(yīng)用相關(guān)參數(shù)

圖片

 

 

PZT基壓電陶瓷材料居里溫度Tc較低(300 ~ 400℃),但壓電系數(shù)d33大(300 ~ 700 pC/N),主要用于200℃以下系列傳感器;鉍層狀結(jié)構(gòu)壓電陶瓷材料Tc較高(500 ~ 940℃),但壓電系數(shù)d33偏低(約20 pC/N),可用于400℃以上系列傳感器。針對(duì)更高溫使用環(huán)境,壓電晶體由于沒(méi)有高溫相變,表現(xiàn)出高電阻率和寬使用溫度范圍,常用于650℃及以上超高溫壓電振動(dòng)傳感器,但生產(chǎn)加工成本相對(duì)較高,壓電系數(shù)也較低(< 10 pC/N)。綜合比較材料性能和當(dāng)前傳感器實(shí)際需求,鉍層狀結(jié)構(gòu)壓電陶瓷材料是高溫壓電振動(dòng)傳感器核心敏感元件的優(yōu)選材料,也是482℃高溫壓電振動(dòng)傳感器的通用材料和650℃超高溫壓電振動(dòng)傳感器的候選材料,具有的研發(fā)應(yīng)用潛力。Bi4Ti3O12、CaBi4Ti4O15、Bi3TiNbO9、CaBi2Nb2O9、SrBi4Ti4O15、SrBi2Nb2O9等均是可用于傳感器的鉍層狀結(jié)構(gòu)壓電材料。然而,鉍層狀結(jié)構(gòu)壓電陶瓷材料在研制生產(chǎn)中也存在一些技術(shù)難點(diǎn):1)矯頑場(chǎng)強(qiáng)太高、不利于極化,批量極化技術(shù)難度大;2)壓電活性較低,壓電系數(shù)較小,導(dǎo)致傳感器件的頻率響應(yīng)范圍變窄;3)壓電響應(yīng)的溫度穩(wěn)定性較差,導(dǎo)致傳感器件的長(zhǎng)期最高使用溫度大幅降低。鉍層狀結(jié)構(gòu)壓電陶瓷材料的改性提升是當(dāng)前壓電陶瓷材料研究的主要方向。

 

4 高溫壓電陶瓷材料研究應(yīng)用進(jìn)展

 

4.1 國(guó)外研究應(yīng)用進(jìn)展

 

目前,國(guó)外應(yīng)用于壓電振動(dòng)傳感器的陶瓷材料主要有美國(guó)PiezoTechnologies公司的K-12,K-15,丹麥Ferroperm公司的Pz46,美國(guó)TRSTechnologies公司的BT200、日本FujiCeramics公司的F-100等,傳感器研制生產(chǎn)商如Endevco公司、Vibro-Meter公司等也自主研發(fā)了適用于高溫工作的壓電陶瓷材料P-10,P-14,P-15,P-21等。其中,對(duì)應(yīng)于高溫振動(dòng)測(cè)量需求,公開(kāi)資料顯示:K-12,K-15,P-14,P-15和Pz46 是高溫壓電振動(dòng)傳感器選用的典型牌號(hào)材料,除P-15外,其它材料均為鉍層狀結(jié)構(gòu)Bi4Ti3O12改性的壓電陶瓷材料。產(chǎn)品技術(shù)現(xiàn)狀和應(yīng)用情況如下:

 

1) K-12型高溫壓電陶瓷材料:為美國(guó)Piezo Technologies公司的產(chǎn)品,居里溫度達(dá)到820℃,可在593℃長(zhǎng)時(shí)工作,最高760℃短時(shí)工作,高溫穩(wěn)定性能優(yōu)異。該材料已成功應(yīng)用于丹麥B&K公司482℃高溫壓電振動(dòng)傳感器(8324、8347-C等),美國(guó)Endevco公司538℃高溫壓電振動(dòng)傳感器(522M17,522M25等)。

 

2) K-15型高溫壓電陶瓷材料:為美國(guó)Piezo Technologies公司的產(chǎn)品,居里溫度大于600℃,全使用溫度范圍內(nèi)均具有穩(wěn)定的壓電活性。除擁有K-12的優(yōu)異性能外,該材料壓電系數(shù)d33提高50%。K-15型高溫壓電陶瓷材料已成功應(yīng)用于美國(guó)Endevco公司482℃高溫壓電振動(dòng)傳感器(6233C-10 /50 /100等),丹麥B&K公司482℃高溫壓電振動(dòng)傳感器(8324等)。

 

3) P-14型高溫壓電陶瓷材料:為美國(guó)Endevco公司的產(chǎn)品,電荷靈敏度高且具有超高居里溫度點(diǎn),溫度范圍可達(dá)-50 ~ 540℃。用該材料制成的傳感器既可用來(lái)精確測(cè)量低振動(dòng)量級(jí)的振動(dòng),又可在高低溫下不加冷卻或溫度補(bǔ)償進(jìn)行精確測(cè)量,穩(wěn)定性優(yōu)異。P-14型高溫壓電陶瓷材料已批量化應(yīng)用于美國(guó)Endevco公司482℃高溫壓電振動(dòng)傳感器(6233C—10 /50 /100等)。

 

4) P-15型高溫壓電陶瓷材料:為美國(guó)Endevco公司的產(chǎn)品,為鈮酸鋰系陶瓷材料,具有高電荷靈敏度且可用于溫度(Tc≈1188℃),目前用其已制造出溫度*高的壓電振動(dòng)傳感器,最高溫度可達(dá)760℃。美國(guó)Endevco公司6240M10等高溫壓電振動(dòng)傳感器均使用該材料。

 

5) Pz46型高溫壓電陶瓷材料:為丹麥Ferroperm公司開(kāi)發(fā)產(chǎn)品,居里溫度大于600℃,最高使用溫度可達(dá)550℃。其顯微結(jié)構(gòu)致密、晶粒大小均勻,同時(shí)其壓電性能和電阻率具有優(yōu)異的溫度穩(wěn)定性,已成功應(yīng)用于美國(guó)Endevco公司482℃高溫壓電振動(dòng)傳感器(2248,2276等)。

 

4.2 國(guó)內(nèi)研究應(yīng)用進(jìn)展

 

在國(guó)內(nèi),中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所、四川大學(xué)、同濟(jì)大學(xué)、山東大學(xué)等單位針對(duì)高溫壓電振動(dòng)傳感器用鉍層狀結(jié)構(gòu)壓電陶瓷材料也開(kāi)展了系列化研究,取得了階段性成果,并實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)。其中,中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研制的CBT 材料是國(guó)內(nèi)早期實(shí)現(xiàn)小批量應(yīng)用的高溫壓電陶瓷材料,具有高居里溫度和高壓電系數(shù)特點(diǎn),長(zhǎng)期使用溫度范圍-55 ~ 482℃、壓電系數(shù)d33≥18 pC/N。但與壓電陶瓷材料相比,在長(zhǎng)時(shí)溫度穩(wěn)定性、機(jī)載環(huán)境適應(yīng)性等方面尚存在一定差距,亟待進(jìn)一步提高壓電陶瓷材料壓電性能、電阻率、高溫工作特性和溫度穩(wěn)定性等性能,以滿足航空發(fā)動(dòng)機(jī)健康管理系統(tǒng)振動(dòng)測(cè)試發(fā)展需求。

 

表3為上述國(guó)內(nèi)外典型高溫壓電陶瓷材料性能指標(biāo)。

 

表3 國(guó)內(nèi)外典型高溫壓電陶瓷材料主要性能指標(biāo)

圖片

 

 

結(jié)束語(yǔ)

 

近年來(lái),隨著航空發(fā)動(dòng)機(jī)健康管理系統(tǒng)振動(dòng)狀態(tài)監(jiān)測(cè)日益受到重視,高溫壓電振動(dòng)傳感器需求量逐年攀升,高溫壓電陶瓷材料的應(yīng)用范圍也越來(lái)越廣。高溫壓電振動(dòng)傳感器及壓電陶瓷材料在航空發(fā)動(dòng)機(jī)及其他高溫振動(dòng)監(jiān)測(cè)領(lǐng)域必將擁有廣闊的市場(chǎng)應(yīng)用前景。然而,國(guó)內(nèi)壓電振動(dòng)傳感器及陶瓷材料研制生產(chǎn)單位應(yīng)加大以下幾方面研究。

 

1) 加大可靠性研究,解決制約高溫壓電傳感器性能的根本原因,提升260℃和482℃系列傳感器可靠性和長(zhǎng)時(shí)高溫工作性能;

 

2) 開(kāi)展高溫寬頻壓電振動(dòng)傳感器(-55 ~ 482℃,1 Hz ~12.8kHz)和650℃以上的超高溫壓電振動(dòng)傳感器研發(fā),突破振動(dòng)傳感器技術(shù)瓶頸;

 

3) 提升高溫壓電陶瓷材料長(zhǎng)時(shí)工作穩(wěn)定性、機(jī)載環(huán)境適應(yīng)性,進(jìn)一步提高壓電陶瓷材料壓電性能、電阻率、高溫工作特性和溫度穩(wěn)定性等性能,滿足航空發(fā)動(dòng)機(jī)健康管理系統(tǒng)振動(dòng)測(cè)量發(fā)展需求;

 

4) 加強(qiáng)高校、科研院所及生產(chǎn)單位的產(chǎn)學(xué)研合作,盡快形成從壓電元件到傳感器研發(fā)、生產(chǎn)、測(cè)試的完整產(chǎn)業(yè)鏈條,加快國(guó)內(nèi)振動(dòng)傳感技術(shù)發(fā)展。

以下是我們單位為國(guó)內(nèi)關(guān)于高溫壓電測(cè)試系統(tǒng)的相關(guān)資料和技術(shù)參數(shù)

一、用途概述:

 GDPT-900A型變溫壓電d33測(cè)量系統(tǒng)是我院研制的即可低溫測(cè)試D33系數(shù),又可以高溫測(cè)試D33系數(shù)。主要是針對(duì)高低溫壓電陶瓷材料和薄膜材料的測(cè)試。

二、主要應(yīng)用領(lǐng)域:無(wú)損檢測(cè)超聲檢測(cè),醫(yī)療超聲檢測(cè),航空航天,石油天然器,汽車(chē)物聯(lián)網(wǎng),工業(yè),消費(fèi)者程序等。

二、主要技術(shù)參數(shù):

1、d33測(cè)量范圍:1PC/N-6000PC/N(1.5PC-30000PC)

2、力顯示:0.01-4N

3、電源:電壓220V

4、溫度范圍:溫度-100℃至+500℃

5、溫控精度:溫度顯示精度0.01℃,溫度控制精度±0.1℃,溫度漂移優(yōu)于±0.1℃內(nèi),超調(diào)≤0.1℃。

6、升溫斜率:0.00至5.00℃/min,典型值2.00℃/min。

7、間隔保溫:0.10至50.00℃/點(diǎn),保溫5分鐘即可達(dá)到溫度最佳穩(wěn)定狀態(tài)。

8、樣品夾具:夾持雙面電極樣品,直徑小于30mm,厚度小于5mm。

9、測(cè)量環(huán)境:低溫、高溫、空氣等。

10、電極材料:耐高溫電極。

11、制冷方式:液氮控制系統(tǒng)

12、顯示:液晶顯示

13、采集方式:USB2.0高速數(shù)據(jù)

14、總重量: 15kg左右。

15、軟件:專(zhuān)用軟件自動(dòng)測(cè)試溫度與壓電系數(shù)的關(guān)系變化

 

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