鈦酸鍶（SrTiO3）晶體 單晶基片
鈦酸鍶（SrTiO3）是當(dāng)前應(yīng)用高溫導(dǎo)單晶基片之一。它與 YBaCuO 等高溫導(dǎo)材料的晶格 匹配好，無孿晶結(jié)構(gòu)，物理、機械性能。使用多種制膜（如磁控濺射，脈沖激光沉積，激光分子 束外延等）制作的多種高溫導(dǎo)薄膜（Y-系，Bi－系，La-系等）均可得到 TCO≥90°K, JCO≥106A/cm2 等指標(biāo)。SrTiO3 也是高溫導(dǎo)結(jié)（使用雙晶基片或臺階狀基片）及基片臺階化（按某些角度斜切并 熱處理）的單晶材料。
晶系 立方晶系
生長方法 火焰法
晶格常數(shù) a=3.905Å
熔點（℃） 2080
密度 5.122（g/cm3）
硬度 6-6.5（mohs）
熱膨脹系數(shù)（/℃） 9.4×10-6
介電常數(shù) ε=5.20
化學(xué)穩(wěn)定性 在水中不溶解
熱膨脹系數(shù) 10.4×10-6/k
正切損耗 ~5×10-4（300k） ~3×10-4（77k）
顏色及外觀 透明（根據(jù)退火狀態(tài)有時有輕微的棕色）無鸞晶
尺寸 10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm 可按照客戶需求，定制方向和尺寸的基片
厚度 0.5mm、1.0mm
尺寸公差 <±0.1mm
厚度公差 <±0.005mm要求可<±0.005mm）
拋光 單面或雙面
晶面定向精度 ±0.5°
邊緣定向精度 2°（要求可 1°以內(nèi)）
取向 <100>、<110>、<111>等
主要特點 它與 YBaCuO 等高溫導(dǎo)材料的晶格匹配好，無孿晶結(jié)構(gòu)，物理、機械性能
主要用途 SrTiO3也是高溫導(dǎo)結(jié)（使用雙晶基片或臺階狀基片）及基片臺階化（按某些角度斜切并熱處理）的單晶材料。
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