La2Zr2O7外延薄膜|YBCO導(dǎo)薄膜+Au的定制
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La2Zr2O7外延薄膜|YBCO導(dǎo)薄膜+Au的定制
利用化學(xué)溶液沉積(CSD)法在雙軸織構(gòu)的Ni W基帶上制備了燒綠石結(jié)構(gòu)的La2Zr2O7(LZO)氧化物薄膜,并研究了熱處理過(guò)程中升溫路線對(duì)其外延生長(zhǎng)行為的影響.利用X射線衍射(XRD)和原子力顯微鏡(AFM)對(duì)不同熱處理路線下所制得的LZO薄膜的織構(gòu)和表面形貌進(jìn)行了表征.結(jié)果表明:升溫速率對(duì)LZO薄膜的織構(gòu)度以及表面形貌影響較大.可以認(rèn)為通過(guò)選擇合適的熱處理路線,利用CSD法可以制得具有銳利織構(gòu)度、表面平整且無(wú)缺陷的LZO薄膜,同時(shí),在熱處理?xiàng)l件下制得的LZO薄膜適合用作涂層導(dǎo)體緩沖層.
| AIN薄膜 | 200nm ±10%, 單面鍍膜 |
| Al2O3+ZnO薄膜 | 注：可以按照客戶要求加工 |
| Al2O3+Si薄膜（SOS） | 10x10x0.5mm |
| AL2O3+GaN薄膜（P型;N型摻Si;N型不摻雜） | |
| BiFeO3薄膜 | 注：可以按照客戶要求加工 |
| Ba1-xSrxTiO3介電薄膜 | 10x10 x 0.5 mm |
| CeO2薄膜 | 40 nm +/- 10 nm |
| 金剛石薄膜DOI | 定制 |
| 金剛石薄膜DOS | |
| Ga2O3-ß薄膜 | |
| GGG+YIG薄膜 | 10x10x0.5mm |
| 塑料上ITO膜;PEN塑料上鍍ITO膜 | |
| InP上鍍InP/InGaAs/InP薄膜 | |
| 聚酰亞胺膜(HN Kapton);鍍特氟龍聚酰亞胺膜 | |
| 康寧7980上鍍Si3N4 | 10x10x0.5mm |
| LaNiO3薄膜 | 10x10x0.5mm |
| La1-xSrxMnO3薄膜 | |
| La2Zr2O7外延薄膜 | 20-150nm；注：尺寸可以按照客戶要求加工 |
| 鈉鈣玻璃+Au薄膜 | |
| SrTiO3薄膜 | 10x10x0.5mm |
| Si+GaN薄膜 | |
| Si+AlN+GaN薄膜 | |
| Si+SiO2薄膜（料） | 注：可以按照客戶要求加工 |
| Si+SiO2+Si（SOI）薄膜 | |
| Si+SiO2+Pt薄膜（料） | |
| Si+SiO2+TiO2+Pt <111> （料） | |
| Si+SiO2+Ti+Pt <111>（國(guó)產(chǎn)） | 注：可以按照客戶要求加工 |
| Si+SiO2+Ti+Pt <111>（） | 注：可以按照客戶要求加工 |
| Si+Si3N4薄膜 | |
| Si+SiO2+Si3N4薄膜 | |
| Si+Al薄膜 | 10x10x0.5mm |
| Si+Ni薄膜 | |
| Si+SiO2+Ni薄膜 | |
| Si+Cu薄膜 | 注：可以按照客戶要求加工 |
| Si+Ta+Cu薄膜 | |
| Si+SiO2+Ta+Cu薄膜 | |
| Si+SiO2+Ti+Au薄膜 | |
| SiC-3C薄膜(Si+SiC） | 注：可以按照客戶要求加工 |
| SiC外延薄膜 P型 （4H-SiC+4H-SiC) | |
| Si+Ge薄膜 | |
| YBCO薄膜(襯底：MgO） | 10x10x0.5mm |
| YBCO薄膜(襯底：LaAlO3） | 10x10x0.5mm |
| YBCO導(dǎo)薄膜+Au | 10x10x0.5mm |
| 石墨烯薄膜 | 注：可以按照客戶要求加工 |
| 摻雜ZnO薄膜 |
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