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Si+SiO2+TiO2+Pt+Ni+Ti+Au+SiC外延薄膜

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Si+SiO2+TiO2+Pt+Ni+Ti+Au+SiC外延薄膜

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Si+SiO2+TiO2+Pt+Ni+Ti+Au+SiC外延薄膜

用熱壁CVD法在6H-SiC襯底上生長(zhǎng)了SiCGe三元合金,樣品生長(zhǎng)呈現(xiàn)出的島狀特征.利用SEM,TEM,EDS和PL等分析手段對(duì)薄膜進(jìn)行了性質(zhì)研究.發(fā)現(xiàn)樣品包含兩種特征相,由隨機(jī)分布的球形島和島周圍較平坦的背景區(qū)域組成.EDS結(jié)果表明兩相組分不同:球形島為高Ge區(qū),組分比大于30%;背景區(qū)域Ge含量則低于1%.兩種相的生長(zhǎng)速率也不相同,在生長(zhǎng)時(shí)間相同的情況下,背景區(qū)較薄,且滿布三角形堆垛層錯(cuò).樣品的PL峰位于2.2和2.7eV處.分析認(rèn)為,這兩個(gè)峰分別來自球形島和背景區(qū)域的帶間輻射復(fù)合.


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