GSC-1000磁控濺射系統(tǒng)?

GSC-1000磁控濺射系統(tǒng)概述：

帶有水冷或者加熱(高可加熱到700度)功能，大到6"旋轉(zhuǎn)平臺，大可支持到2個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔

• 70l/s的渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵

• 1KW DC直流電源

• 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

• 帶觀察視窗的腔門易于上下載片

• 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制

• 帶密碼保護(hù)功能的多級訪問控制

• *的安全聯(lián)鎖功能

  選配項(xiàng)： Thickness Monitor   膜厚監(jiān)測
  應(yīng)   用： SEM應(yīng)用 濺射金屬，大到6"的晶圓片

  

   

   

   

                                                                                         

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