詳細介紹
自動薄膜厚度測繪系統(tǒng)
借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng),可以快速輕松地測量200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供快速的厚度測量,達到每秒兩點。您可以從數(shù)十種預定義的極性,矩形或線性測量坐標圖案中選擇,也可以創(chuàng)建自己編輯的不受限制的測量點數(shù)量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設置,任何具有基本計算機技能的人都可以使用。
圖案表面的顯微測量
F54-XYT-300具有集成的顯微鏡和實時攝像頭,可以精確監(jiān)控膜厚測量點。小尺寸的測量光斑允許測量有圖案的樣品,并且可以改善在較粗糙的材料上的測量性能。
FILMAPPER軟件-測量自動化測繪模式生成器
內(nèi)置的測繪圖案生成器使您可以輕松的生成測量樣品相關區(qū)域所需的坐標圖案,從而節(jié)省了數(shù)據(jù)采集時間。以下是您可以調(diào)整的自定義測繪屬性的一些參數(shù):
樣品形狀:圓形或矩形
徑向,矩形或線性圖案
中心和邊緣去除
點密度