電子無塵室/潔凈室檢測(cè)

電子無塵室/潔凈室檢測(cè)項(xiàng)目和標(biāo)準(zhǔn)

檢測(cè)方法 

1.風(fēng)量或風(fēng)速

1）對(duì)于單向流潔凈室,應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量,并應(yīng)取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測(cè)試平面。應(yīng)將測(cè)試平面分成相等的柵格,每個(gè)柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過濾器尺寸,測(cè)點(diǎn)應(yīng)在柵格中或不應(yīng)少于3點(diǎn)。每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、大值和小值,并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

2）對(duì)于非單向流潔凈室,每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。

3）在每個(gè)末端空氣過濾器或散流器處,應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測(cè)量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量,每個(gè)測(cè)試位置的測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于3點(diǎn)。 

2.靜壓差

1）靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。

2）儀器宜采用各種型式的微壓計(jì),儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。

3）潔凈廠房有多個(gè)潔凈室(區(qū))時(shí),應(yīng)從里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開始,并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。

3.高效過濾器檢漏

1）儀器應(yīng)使用采樣量大于1l/min的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。

2）應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1m(0.5gm)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過濾器的整個(gè)面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。 

4.懸浮粒子數(shù)-塵埃粒子計(jì)數(shù)器

1）應(yīng)使用采樣量大于1l/min光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器,應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書。

2）少采樣點(diǎn)應(yīng)按下式計(jì)算:

NL=A0.5

式中NL---------少采樣點(diǎn)

A-----------潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。

采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個(gè)面積內(nèi),并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。

3）每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應(yīng)按下式確定:

Vs=（20/Cn，m）x100

式中Vs------每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量,以l表示,當(dāng)V很大時(shí),可使用順序采樣法。每個(gè)采樣點(diǎn)的小采樣時(shí)間為1min,采樣量應(yīng)至少為2l

Cn.m------被測(cè)潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的被測(cè)粒徑的限值(p/m3);

20------在規(guī)定被測(cè)粒徑粒子的空氣潔凈度等級(jí)限值時(shí),可測(cè)到的粒子顆數(shù)(顆)。

4）當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí),則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次

5.氣流流型

◆氣流流型的檢測(cè),宜采用氣流目測(cè)法。

◆氣流目測(cè)法有示蹤線法、示蹤劑注入法,并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。

◆示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測(cè)試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,直接目測(cè)得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。

◆示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在高強(qiáng)度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。

◆應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測(cè),本法一般是與示蹤結(jié)合,將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。

◆氣流目測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置、儀器等,應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具條件洽商確定。   

6.溫度、相對(duì)濕度

1）溫度、相對(duì)濕度的檢測(cè)應(yīng)在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測(cè)試,并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運(yùn)轉(zhuǎn),并應(yīng)至少穩(wěn)定運(yùn)行1.0h后運(yùn)行。

2）相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格,每格大面積應(yīng)為100m2,應(yīng)每格一個(gè)測(cè)點(diǎn),但每個(gè)房間不應(yīng)少于2個(gè)測(cè)點(diǎn)。

3）檢測(cè)用探測(cè)器應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度,且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。

4）檢測(cè)時(shí)間應(yīng)至少1.0h,并應(yīng)至少6min進(jìn)行1次(30s)讀數(shù),記錄。

7.噪聲

1）潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級(jí)計(jì)。

2）潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測(cè)點(diǎn)宜距地面1.1~1.5m,距墻應(yīng)大于3m;檢測(cè)點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分,宜每100m2設(shè)一檢測(cè)點(diǎn)   

8.照度

1）潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測(cè)宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計(jì)。

2）照度檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測(cè)不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。

3）照度檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度,宜距地面0.85m,應(yīng)每25m2設(shè)一個(gè)測(cè)點(diǎn)。

9.自凈時(shí)間

1）自凈時(shí)間檢測(cè),宜用于非單向流潔凈室。

2）自凈時(shí)間的檢測(cè),宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè),同時(shí)應(yīng)符合下列要求:

◆以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí),則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí),測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開機(jī),定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時(shí)間(t)。

◆以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí),應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開機(jī),方法同上。

◆由初始濃度(N)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n),可得到計(jì)算自凈時(shí)間(t0),與實(shí)測(cè)自凈時(shí)間(t)進(jìn)行對(duì)比如果t≤1.2t0,為合格。

◆自凈時(shí)間檢測(cè)方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評(píng)估法等。自凈時(shí)間檢測(cè)方法應(yīng)洽商確定。

10.密閉性檢測(cè)

1）密閉性檢測(cè)或稱抑制滲漏測(cè)試,是測(cè)定潔凈室(區(qū))有無受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))侵入。本檢測(cè)一般用于ISO1~5級(jí)潔凈室(區(qū))。

2）采用粒子計(jì)數(shù)器法檢測(cè)潔凈室(區(qū))的密閉性,檢測(cè)時(shí)應(yīng)先測(cè)量緊靠被測(cè)圍護(hù)結(jié)構(gòu)表面外部的懸浮粒子濃度,一般此濃度應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)濃度大104,并大于等于3.5×106個(gè)/m3待測(cè)粒徑的粒子。

3）潔凈室(區(qū))的施工接縫,包括對(duì)墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測(cè)，應(yīng)在被測(cè)部位的50~100mm處掃描,其掃描速度為50mm/s。

潔凈室敞開門處的滲漏檢測(cè),應(yīng)在距離門0.3~3.0m處測(cè)定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。記錄并報(bào)告比測(cè)得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置。

11.懸浮微生物的采樣

1）采用無源采樣裝置,如培養(yǎng)皿。采用有源采樣裝置,如撞擊采樣器、離心采樣器、過濾采樣器。

2）空氣潔凈環(huán)境中懸浮微生物的靜態(tài)或空態(tài)檢測(cè)前,應(yīng)對(duì)各類表面進(jìn)行擦拭消毒,但不得對(duì)室內(nèi)空氣進(jìn)行熏蒸、噴灑之類的消毒。動(dòng)態(tài)檢測(cè)均不得對(duì)表面和空氣進(jìn)行消毒。層包裝保護(hù)培養(yǎng)皿,以防污染。當(dāng)潔凈度很高，或預(yù)期含菌濃度可能很低時(shí)，采樣量應(yīng)大于小采樣量很多，以滿足減少計(jì)數(shù)誤差的要求。