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詳細介紹
PSM-1000工業(yè)顯微鏡采用全新的一體化設計，具有優(yōu)異的光學成像質量，造型新穎，使用方便，并具有豐富的擴展功能，可以廣泛應用于冶金、半導體、電子等行業(yè)的制造和研究領域。
◆
描述
◆ 人機工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°- 30°轉動，調整觀察眼點的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。
◆ 管鏡
PSM-1000的管鏡轉盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進行切換，切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優(yōu)化，1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優(yōu)化，當使用這3個波長的激光器時，可以得到更好的激光透過率。
◆ 光路切換拉桿
通過推拉光路轉換拉桿可以方便的對光路進行切換。當轉換拉桿往外拉時，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時從攝像接口上入射的激光100%的進入光路，提高了激光效率；當轉換器拉桿往里推時，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時即可用雙目頭觀察，同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
◆ 偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進行偏光觀察。
◆ 調焦機構
PSM-1000的調焦機構轉動舒適，工作可靠。調焦機構大可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
◆ 轉換器
PSM-1000采用4孔可調中轉換器，使用隨機配送的調中鑰匙，可以很方便地調整物鏡的齊中。
◆ 物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應力平場復消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質量。關于物鏡的具體參數(shù)請參照APO物鏡樣本。
◆ 數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。
◆ 照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長達2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間。
◆ 探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上，進行硅片的測試。
◆ 激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補償墊片。無需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。
注:在安裝和使用激光器之前，請您仔細閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問題，麥克奧迪實業(yè)集團有限公司對此概不負責。
目鏡 | WF10X/24，視場直徑 24mm，獨立矯正色差 |
雙目頭 | 瞳距調節(jié)范圍55~75mm |
上主體 | 分光比為50:50或0:100 |
管鏡 | 1X NUV/VIS; 1X NIR/VIS; 2X VIS |
轉換器 | 4孔，中心可調 |
物鏡 | 長工作距離或超長工作距離; 無限遠平場復消色差; 齊焦距離: 95mm; 連接螺紋: M26X1/36"(0.706); 齊焦機構(可選) |
調焦機構 | 調焦行程: 52mm; 粗動手輪4mm/轉;微動手輪0.1mm/轉; 微動手輪 1μm/格; 大承載重量: 45磅(20.4Kg) |
照明系統(tǒng) | 同軸垂直照明，可變孔徑光欄( 0.8~ 6) |
冷光源 | 輸入電壓: 110V或220V; 150W/21V; 鹵素燈遙控器(可選) |
移動載物臺 | XY行程: 75X50mm |
人機工程頭部 | 轉動范圍3 -30 |
PSM-1000配置表
| 名稱 | 物料編號 | PSM-1000 | PSM-1000S | PSM-1000E | 數(shù)量 | |
| 目鏡WF10X/24(含護眼罩） | SG02S0173 | ● | ● | ● | 2只 | |
| 目鏡WF15X/16 | SG02T0316 | ○ | ○ | ○ | 2只 | |
| 目鏡WF20X/12 | SG02T0317 | ○ | ○ | ○ | 2只 | |
| 鉸鏈式雙目 | SP100243 | ● | ● | / | 1 | |
| 鉸鏈式雙目 | SP100243A | / | / | ● | 1 | |
| 上主體組 | SW0199BD | ● | ● | / | 1 | |
| 變角度上主體組 | AP9977730 | / | / | ● | 1 | |
| 下主體組 | SW0199BE | ● | / | ● | 1 | |
| 下主體組(帶3個偏光插孔) | SW0199Y1 | / | ● | / | 1 | |
| 四孔轉換器組 | SW011715A | ● | ● | ● | 1 | |
| 調焦組 | SW0199BG | ● | ● | ● | 1 | |
| 底座組 | SW010282A | ● | ● | ● | 1 | |
| 工業(yè)顯微鏡移動式載物臺 | SW010338P | ● | ● | ● | 1 | |
| 長工作距離復消色差物鏡* | ELWD2X | SG01S102C3 | ○ | ○ | ○ | 1 |
| ELWD5X | SG01S162C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD10X | SG01S022C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD20X | SG01S032C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD50X | SG01S122C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD100X | SG01S062C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 超長工作距離復消色差物鏡* | ULWD50X | SG01S122C5 | ○ | ○ | ○ | 1 |
| ULWD100X | SG01S062C5 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 可調焦長工作距離復消色差物鏡* | ELWD2X | SG01S102C4 | ○ | ○ | ○ | 1 |
| ELWD5X | SG01S162C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD10X | SG01S022C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD20X | SG01S032C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD50X | SG01S122C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| ELWD100X | SG01S062C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 可調焦超長工作距離復消色差物鏡* | ULWD50X | SG01S122C7 | ○ | ○ | ○ | 1 |
| ULWD100X | SG01S062C7 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 0.5X攝像接筒組(接2/3"CCD) | SP100363 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 0.4X攝像接筒組(接1/2"CCD) | SP100365B | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 1X攝像接筒組(接2/3"CCD) | SP100386 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| MOTICAM480/1000/2000/3000/5000及配套軟件 | ○ | ○ | ○ | 1 | ||
| 檢偏插片 | SW01991Z | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 起偏插片 | SW01992B | ○ | / | ○ | 1 | |
| 起偏插片(可旋轉) | SW01992BA | / | ○ | / | 1 | |
| 中間插片(可旋轉) | SW01993H | / | ○ | / | 1 | |
| 調中鑰匙 | SW0199BH | ● | ● | ● | 2 | |
| 墊圈(安裝激光濾色片時使用) | SW018880 | ● | ● | ● | 2 | |
| 十字槽盤頭螺釘 M3X10(安裝激光濾色片時使用) | SS0120594 | ● | ● | ● | 3 | |
| 轉接環(huán)(數(shù)量根據(jù)訂單) | SW011840 | ○ | ○ | ○ | 1~4 | |
| 使用手冊(中文，PSM1000機) | SP010980 | ● | ● | ● | 1 | |
| 保修卡 | SP160004 | ● | ● | ● | 1 | |
| 物鏡顏色標貼(含灰、紅、黃、綠、藍、白) | ST7033 | ● | ● | ● | 1套 | |
| 合格證 | SP150001 | ● | ● | ● | 1 | |
| 工業(yè)顯微鏡光纖(輸出端為直頭) | SP990073A | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 工業(yè)顯微鏡光纖(輸出端為彎頭) | SP990073B | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| MITUTOYO光纖接頭 (MITUTOYO型光纖) | SP99008A | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| MLC-150C冷光源 | SP120070 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
| 注：帶" * "號的為外購件， "●"表示標配，"○"表示選配，PSM-1000E暫不供貨。 | ||||||
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