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詳細(xì)介紹
◆ Z 軸裝有數(shù)顯弧形標(biāo)尺，可以提供更大的測量范圍和更高的分辨率，從而不必再依靠測量倍率。
◆可以應(yīng)用數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)(個(gè)人計(jì)算機(jī)和Formpak-1000 軟件) 。
X軸 | 測量范圍 | 100mm（CV-2100） | ||
分辨率 | 0.1μm | |||
測量方法 | 反射型線性編碼器 | |||
驅(qū)動速度 | 0.2,1mm/s和手動 | |||
測量速度 | 0.02-5mm/s | |||
測量方向 | 向后 | |||
直線度 | 2.5μm /100mm(CV-2100) *當(dāng)X軸在水平方向上 | |||
指示精度 （20℃） | ±（2.5+0.02L）μm L為驅(qū)動長度（mm） | |||
傾斜范圍 | ±45°（CV-2000） | |||
Z1軸 | 測量范圍 | 25mm（CV-1000）或40mm（CV-2000） | ||
分辨率 | 0.1μm（CV-2100系列） | |||
測量方法 | 弧形編碼器 | |||
指示精度 （20℃） | ±（2.5+0.1H）μm） H為水平位置上的測量高度（mm） | |||
探針上下運(yùn)作 | 弧形運(yùn)動 | |||
探針方向 | 向下 | |||
測力 | 10-30mN | |||
跟蹤角度 | 向上 | 77° | ||
向下 | 87° | |||
探針針尖 | 半徑 | 25μm | ||
材料 | 硬質(zhì)合金針尖 | |||
尺寸（LxH） | 745x450x885mm（CV-2000） | |||
基座材料 | 花崗巖（CV-2100） | |||
重量 | 主機(jī) | 145.8kg（CV-2000M4) | ||
控制裝置 | 14kg | |||
遙控箱 | 0.9kg | |||
電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | |||
能耗 | 150W僅限主機(jī) | |||
Z2軸（立柱，僅用于CV-2100） | 立柱類型 | 電動（S4型）和手動（M4型） | ||
垂直行程 | 250mm（S4型）和320mm（M4型） | |||
分辨率 | 0.2um（S4型） | |||
檢測方法 | ABSOLUTE線性編碼器（S4型） | |||
驅(qū)動速度 | 0-5mm/s和手動 | |||
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性能參數(shù)
型號 | CV-1000N2 | CV-2000N4 | CV-2000S4 |
X1軸測量范圍 | 50mm | 100mm | 100mm |
Z1軸測量范圍 | 25mm | 40mm | 40mm |
Z2軸測量范圍 | - | 250mm | 320mm |
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