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桌上型掃描電鏡（mini-SEM）

SEC公司研發(fā)生產(chǎn)的桌上掃描電鏡（Mini-SEM）實(shí)現(xiàn)了大電鏡的小型化處理，結(jié)構(gòu)緊湊操作便捷，Mini-SEM以其人性化實(shí)用性設(shè)計(jì)及實(shí)惠的價(jià)格，成為了廣泛應(yīng)用于以研究開發(fā)和品質(zhì)管理教育等為目的的企事業(yè)單位，*，學(xué)校，研究所等機(jī)構(gòu)的經(jīng)濟(jì)普及型掃描電鏡。

                       Mini-SEM用戶界面

    掃描電子顯微鏡是用極細(xì)的電子束在樣品表面掃描（高速電子轟擊樣品），將產(chǎn)生的各種電子用特制的探測(cè)器收集，形成電信號(hào)運(yùn)送到顯像管，在熒光屏上顯示物體，或者將激發(fā)出來(lái)的特征X光通過(guò)能譜儀或者波譜儀進(jìn)行定量的成分分析的一種分析儀器。

掃描電鏡分辨率與電子在試樣上的小掃描范圍有關(guān)，電子束斑越小，電子在試樣上的分辨率越高。在保證束斑足夠小的情況下，電子束還要有足夠的強(qiáng)度。束流太低不能從試樣表面激發(fā)足夠的信號(hào)，噪聲影響大。

二次電子對(duì)形貌敏感。凸起部位亮，凹陷部位暗，景深好，細(xì)節(jié)清晰。

背散射電子對(duì)原子序數(shù)敏感，原子序數(shù)高的區(qū)域能得到更多的背散射電子，相應(yīng)圖像較亮，可以用來(lái)觀察材料成分的分部。

X光：原子被激發(fā)會(huì)發(fā)出X光，每種元素受激發(fā)射發(fā)出的X光會(huì)不同，通過(guò)對(duì)不同X光進(jìn)行檢測(cè)，就可知道材料中包括什么元素和比例。

背散射探測(cè)器受真空度影響不大，可以適用于高真空和低真空模式。

二次電子探頭受真空影響較大，分辨率大大降低。在低真空模式下需要特定的探頭。

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體

薄膜結(jié)構(gòu)及缺陷、材料成分分析、集成電路失效分析、光刻版圖形貌、太陽(yáng)能電池、顯示面板及半導(dǎo)體封裝焊接等。

• 金屬材料

細(xì)微晶體離子形態(tài)和結(jié)構(gòu)

• 化學(xué)材料-燃料電池

不同型號(hào)性能對(duì)比：