詳細(xì)介紹
此款JYSC-1000型噴金儀主要用于SEM制樣樣品鍍導(dǎo)電膜(如金膜)或材料鍍膜,儀器性能穩(wěn)定,操作簡(jiǎn)單方便。采用磁控冷態(tài)濺射,基本不升溫,最大限度保護(hù)樣品。
主要特點(diǎn):
2 真空泵連接管路為金屬波紋管,美觀耐用;
2 微調(diào)閥調(diào)節(jié)靈敏準(zhǔn)確,帶有刻度標(biāo)識(shí);
2 真空泵抽速快,噪音低,適合實(shí)驗(yàn)室使用;
2 控制電路為控制板,工作穩(wěn)定可靠;
2 磁控冷態(tài)濺射,基本不升溫,最大限度保護(hù)樣品;
技術(shù)參數(shù):
1. 真空室:Φ150mm,高度110mm;
2. 試樣臺(tái)尺寸:Φ60mm,
3. 金靶尺寸:Φ50mm;
4. 真空系統(tǒng):抽速8m3/h;
5. 真空檢測(cè):定制皮氏計(jì),配合真空指針表,靈敏可靠;
6. 排氣方式:自動(dòng);
7. 濺射時(shí)間:0-1000秒可連續(xù)設(shè)置。
8. 真空室工作氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專(zhuān)用進(jìn)氣口和微量充氣節(jié);
9. 可使用多種金屬靶材:Au,Au/Pd,Pt,Pt/Pd,Cu,Ag等,靶材更換快速方便
10. 主機(jī)尺寸:約450×330×235mm