組合式
組合式應(yīng)變壓力傳感器中,其彈性敏感元件可分為感觸元件和彈性應(yīng)變?cè)?。其中,感觸元件把壓力轉(zhuǎn)換為力傳遞到彈性應(yīng)變?cè)?yīng)變zui敏感的部位,而應(yīng)變片則貼在彈性應(yīng)變?cè)膠ui大應(yīng)變處。實(shí)踐上,較龐雜的應(yīng)變管式和應(yīng)變梁式都屬于這種型式。
感觸元件有膜片、膜盒、波紋管、波登管等,彈性應(yīng)變?cè)袘冶哿?、固定梁?Pi;形梁、環(huán)形梁、薄壁筒等。它們之間可依據(jù)不同須要組合成多種型式。應(yīng)變式壓力傳感器重要用來(lái)測(cè)量流動(dòng)介質(zhì)動(dòng)態(tài)或動(dòng)態(tài)壓力,例如能源管道裝備的進(jìn)出口吻體或液體的壓力、內(nèi)燃機(jī)管道壓力等等。
膜片式
它的彈性敏感元件為周邊固定圓形金屬平膜片。膜片受壓力變形時(shí),中央處徑向應(yīng)變和切向應(yīng)變均到達(dá)正的zui大值,而邊沿處徑向應(yīng)變到達(dá)負(fù)的zui大值,切向應(yīng)變?yōu)榱?。因而常把兩個(gè)應(yīng)變片分別貼在正負(fù)zui大應(yīng)變處,并接成相鄰橋臂的半橋電路以取得較大敏銳度和溫度彌補(bǔ)作用。采取圓形箔式應(yīng)變計(jì)(見(jiàn)電阻應(yīng)變計(jì))則能zui大限度地應(yīng)用膜片的應(yīng)變后果,這種傳感器的非線性較明顯。膜片式壓力傳感器的產(chǎn)品是將彈性敏感元件和應(yīng)變片的作用集于單晶硅膜片一身,即采取集成電路工藝在單晶硅膜片上分散制造電阻條,并采取周邊固定構(gòu)造制成的固態(tài)壓力傳感器(見(jiàn)壓阻式傳感器).
應(yīng)變管式
應(yīng)變管式亦稱應(yīng)變筒式,它的彈性敏感元件為一端關(guān)閉的薄壁圓筒,其另一端帶有法蘭與被測(cè)體系銜接。在筒壁上貼有2片或4片應(yīng)變片,其中一半貼在實(shí)心局部作為溫度彌補(bǔ)片,另一半作為測(cè)量應(yīng)變片。當(dāng)沒(méi)有壓力時(shí)4片應(yīng)變片組成均衡的全橋式電路;當(dāng)壓力作用于內(nèi)腔時(shí),圓筒變?cè)斐?ldquo;腰鼓形”,使電橋失去均衡,輸入與壓力成肯定關(guān)系的電壓。
應(yīng)變梁式
測(cè)量較小壓力時(shí),可采取固定梁或等強(qiáng)度梁的構(gòu)造。一種方式是用膜片把壓力轉(zhuǎn)換為力再通過(guò)傳力桿傳遞給應(yīng)變梁,兩端固定梁的zui大應(yīng)變處在梁的兩端和中點(diǎn),應(yīng)變片就貼在這些中央。這種構(gòu)造還有其余情勢(shì),例如可采取懸梁與膜片或波紋管造成。
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