OptoDiode濾光片光電二極管的有效面積是100mm²,檢測范圍是1-80nm。集成薄膜濾光片的光電二極管采用薄膜沉積工藝,用于檢測太陽EUV輻射、軟X射線輻射測量、X射線和EUV光刻、X射線顯微鏡和XUV光譜。
OptoDiode濾光片光電二極管
AXUV100TF030光敏二極管,薄膜沉積工藝
集成薄膜濾光片的光電二極管存儲和工作溫度在環(huán)境下是-10°C~40°C,在氮氣或真空是-20°C至80°C,引線焊接溫度是260°C。
OptoDiode生產(chǎn)集成薄膜濾光片,用于檢測太陽EUV輻射、軟X射線輻射測量、X射線和EUV光刻、X射線顯微鏡和XUV光譜。美國OptoDiode還生產(chǎn)光學(xué)濾光片窗口、日光濾光片和多波長封裝組件。
OptoDiode集成薄膜濾光片光敏二極管檢測范圍是1-80nm,有效面積是100mm2,發(fā)貨時帶有保護罩,可以避免元件受損。美國集成薄膜濾光片的光電二極管用于電子檢測,電壓直流反向最大值10伏,靈敏度0.09-0.15A/W,波長范圍是3-40nm。OptoDiode濾光片光電二極管采用薄膜沉積工藝。
AXUV100TF400光敏二極管的特點
- 100平方毫米的有效面積
- 波長40納米靈敏度為0.15 A/W
- 檢測范圍:18納米至80納米
- 發(fā)貨時帶有保護罩
AXUV100TF400光敏二極管10mmx10mm測試條件下,有效面積的典型值是100mm2。在40nm波長下靈敏度典型值是0.15A/W。當(dāng)VR為±10mV時,分流電阻最小值為20歐姆,當(dāng)電阻的電流為IR=1µA時,反向擊穿電壓最小值是5V,典型值是10V。VR=0V時,電容的典型值是10nF,最大值是44nF。
AXUV100TF030光敏二極管的特點
- 100平方毫米的有效面積
- 3納米處的靈敏度為0.16 A/W
- 檢測范圍:1納米至12納米
- 發(fā)貨時帶有保護罩
AXUV100TF030光敏二極管在25°C時的電光特性如下。 在10mmx10mm測試條件下,有效面積的典型值是100mm2。在3nm波長下靈敏度典型值是0.16A/W。當(dāng)VR為±10mV時,分流電阻最小值為20歐姆,當(dāng)電阻的電流為IR=1µA時,反向擊穿電壓最小值是5V,典型值是10V。VR=0V時,電容的典型值是10nF,最大值是44nF。
從典型的靈敏度圖可以看到從波長5nm開始靈敏度隨著波長的增加而減小。
SXUV100TF135光敏二極管的特點
- 100平方毫米的有效面積
- 在13.5納米處靈敏度為0.09 A/W
- 探測范圍12納米至18納米
- 發(fā)貨時帶有保護罩
SXUV100TF135光敏二極管在10mmx10mm測試條件下,有效面積的典型值是100mm2。在13.5nm波長下靈敏度最小值是0.08A/W,典型值是0.09A/W,最大值0.1A/W。當(dāng)VR=15V時,暗電流典型值是8nA,最大值是25nA。當(dāng)IR=1µA時,反向擊穿電壓最小值是25V。VR=0V時,電容的最小值是0.8nF,典型值是1nF,最大值是1.2nF。VR=12V時,電容的最小值是220pF,典型值是260pF,最大值是350pF。當(dāng)RL=50Ω, VR=12V時,上升時間的典型值是30納秒。從波長與靈敏度的關(guān)系圖中可以看到在集成濾光片在13.5nm波長后靈敏度的值是下降的。
OptoDiode濾光片光電二極管