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[供應(yīng)]EQP-等離子體質(zhì)量和能量分析儀

產(chǎn)地:英國(guó)Hiden公司

更新時(shí)間:2024-09-06 21:00:07

有效期:2024年9月6日 -- 2025年3月6日

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Hiden EQP是一臺(tái)結(jié)合質(zhì)量和能量分析的儀器(Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics),用于分析等離子過(guò)程中陰、陽(yáng)離子、中性粒子以及自由基。

應(yīng)用:

· 刻蝕 / 沉積作用研究
· 離子植入 / 激光燒蝕
· 殘余氣體分析 / 泄漏檢測(cè)
· 等離子體電極耦合,即在操作中遵從電極設(shè)定條件
· 通過(guò)視口、接地電極和驅(qū)動(dòng)電極進(jìn)行分析

特點(diǎn):

· 軟件控制的離子汲取光學(xué)系統(tǒng),以使等離子體擾動(dòng)小
· 45°靜電扇區(qū)分析器,掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
· 所有能量范圍內(nèi),離子行程的小擾動(dòng),及恒定離子傳輸
· 帶差式泵的三級(jí)過(guò)濾四極桿,質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
· 高靈敏度 / 穩(wěn)定的脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器,有7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍
· 可調(diào)諧的離子源,用于電子附著選件的表觀電勢(shì)質(zhì)譜分析
· Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過(guò)壓保護(hù)
· 信號(hào)選通分辨率1μs,用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布隨時(shí)間的變化
· 1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
· Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
· 通過(guò)RS232、RS485或Ethernet LAN,控制軟件MASsoft
 

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