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產(chǎn)地：英國(guó)Hiden公司
更新時(shí)間：2024-09-06 21:00:07
有效期：2024年9月6日 -- 2025年3月6日
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應(yīng)用：
• 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導(dǎo)體晶片加工研究
• 真空、等離子體過程
• 活性物質(zhì)定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究
特點(diǎn)：
• 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結(jié)器
• 可清除的，帶粘性流QIC校正的進(jìn)樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)為 2500 amu.
• 進(jìn)樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計(jì)，壓力檢測(cè)可不受分析物影響
• 穩(wěn)定性好 (24h之上，小于峰高±0.5% )
• 軟件 MASsoft 控制
• 矩陣反演，歸一化及單峰參考
應(yīng)用：
• 等離子體/反應(yīng)性離子蝕刻研究
• CVD / PVD / MOCVD
• 半導(dǎo)體晶片加工研究
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• 活性物質(zhì)定量分析
• HF，HCl，HBr，CFC 研究
特點(diǎn)：
• 加熱的電拋光波紋管，快速偶合連結(jié)器
• 可清除的，帶粘性流QIC校正的進(jìn)樣口用于定量分析
• 高靈敏度至 5 ppb, 質(zhì)量數(shù)為 2500 amu.
• 進(jìn)樣壓力從 1 mtorr 至大氣壓
• 電容壓力計(jì)，壓力檢測(cè)可不受分析物影響
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