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OAI   紫外線和強度能量計

紫外線和強度能量計——用于高強度晶圓步進器：ASML、Nikon、Canon和Ultratech
 
OAI   紫外線和強度能量計設計用于ASML、佳能、尼康和超技術高強度晶圓步進器。基于微處理器的358型
外線強度和能量計可測量、存儲和調(diào)用9個系列的讀數(shù)。可讀取365、400、420和436 nm
波長的強度、能量和時間(4000 mW/cm², 999.9 mJ/cm²)。
應用
358型非常適合各種需要準確測量紫外線能量的行業(yè)，適用于任何需要重復、可靠紫外線
測量的應用。
 
OAI   紫外線和強度能量計特點：
數(shù)字顯示提供可追溯至NIST的清晰測量
測量強度、時間和能量
記錄一系列曝光的偏差百分比
探頭波長顯示有助于防止設置錯誤
簡單的按鈕操作提供可靠的結果
與許多光刻膠的光譜響應相匹配的可拆卸探針
顯示讀數(shù)可以鎖定
前面板提醒提示用戶
堅固的鋁外殼，帶有手柄和探頭袋，便于攜帶
 
參數(shù)：
強度范圍(mw/cm2)  40-4000
能量范圍 (mJ/cm2)   0-9999
時間范圍 (seconds)  0-9999
波長選擇 (nm)    365, 400，420, 436
精度     ± 3.0 (WB)  ± 1.5 (NB)
線性(%)  2 
用途:   高強度步進機 
計算 ：平均能量; 能量偏差百分比,可達9個通道的強度和時間
輸出輸入：   打印，通道選擇，選擇探頭，波長檢查
電力   110/220 VAC, 50/60 Hz, 可充電 6v電池 (自動關閉) 
尺寸  12.0 W x 5.0 H x 9.0 Dcm
重量   約3.6 kg
 
更有357型號可選，區(qū)別在于波段選擇和步進器選擇上的不同。