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等離子清洗機(jī)原理

閱讀:3130      發(fā)布時(shí)間:2019-9-27
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金屬表面常常會(huì)有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層,在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等離子處理來得到*潔凈和無氧化層的表面。 在這種情況下的等離子處理會(huì)產(chǎn)生以下效果:

1.1灰化表面有機(jī)層

-表面會(huì)受到化學(xué)轟擊(氧下圖)

 -在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下,污染物部分蒸發(fā)

-污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出

-紫外輻射破壞污染物

因?yàn)榈入x子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度,所以污染層不能太厚。指紋也適用。

1.2氧化物去除

金屬氧化物會(huì)與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)(下圖)

 

這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時(shí)也采用兩步處理工藝。先用氧氣氧化表面5分鐘,第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時(shí)用幾種氣體進(jìn)行處理。

1.3焊接

通常,印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除,否則會(huì)帶來腐蝕等問題。

1.4鍵合

好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱,這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對鍵合的質(zhì)量也是有害的,也需要進(jìn)行等離子清潔。

二、等離子刻蝕

在等離子刻蝕過程中,通過處理氣體的作用,被刻蝕物會(huì)變成氣相(例如在使用氟氣對硅刻蝕時(shí),下圖)。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出,表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來(例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料)。 

 

等離子方法也用于刻蝕塑料表面,通過氧氣可以灰化填充混合物,同時(shí)得到分布分析情況??涛g方法在塑料印刷和粘合時(shí)作為預(yù)處理手段是十分重要的,如POM 、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積。

三、刻蝕和灰化

PTFE刻蝕

PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。*,使用活躍的堿性金屬可以增強(qiáng)粘合能力,但是這種方法不容易掌握,同時(shí)溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護(hù)環(huán)境,還能達(dá)到更好效果。(下圖) 

        

等離子結(jié)構(gòu)可以使表面大化,同時(shí)在表面形成一個(gè)活性層,這樣塑料就能夠進(jìn)行粘合、印刷操作。 

      

PTFE混合物的刻蝕

PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細(xì)地進(jìn)行,以免填充物被過度暴露,從而削弱粘合力。

     

處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣。可以應(yīng)用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。 

四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔

塑料、玻璃、陶瓷與聚丙烯、PTFE一樣是沒有極性的,因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。同時(shí),玻璃和陶瓷表面的輕微金屬污染也可以用等離子方法清潔。等離子處理與灼燒處理相比不會(huì)損害樣品。同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面,不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣,中空和帶縫隙的樣品也可以處理。     

等離子表面處理的效果可以簡單地用水來驗(yàn)證,處理過的樣品表面*被水潤濕。長時(shí)間的等離子處理(大于15分鐘),材料表面不但被活化還會(huì)被刻蝕,刻蝕表面具有大潤濕能力。常用的處理氣體為:空氣、氧氣、氬氣、氬氫混合氣體、CF4等

五、等離子涂鍍

聚合

            

在涂鍍中兩種氣體同時(shí)進(jìn)入反應(yīng)艙,氣體在等離子環(huán)境下匯聚合。這種應(yīng)用比活化和清潔的要求要嚴(yán)格一些。典型的應(yīng)用是保護(hù)層的形成,應(yīng)用于燃料容器、防刮表面、類似PTFE材質(zhì)的涂鍍、防水涂鍍等。涂鍍層非常薄,通常為幾個(gè)微米,此時(shí)表面的親和力非常好。

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