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| 供貨周期 | 一個月以上 | 應用領域 | 電子,冶金,航天,電氣,綜合 |
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RLD10差分干涉儀
差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化。
產(chǎn)品簡介
詳細介紹
RLD10差分干涉儀
差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化。
差分發(fā)射頭具有*的光學設計，可實現(xiàn)極低的SDE性能。內(nèi)置的激光準直輔助鏡可在設定過程中實現(xiàn)俯仰和扭擺角度調整，從而改進準直過程（僅適合平面鏡應用）。
RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進入工作腔即可校正光路，內(nèi)置激光準直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進行獨立的調整，安裝系統(tǒng)的設計允許拆卸發(fā)射頭和調整發(fā)射頭位置，對系統(tǒng)準直的影響極小。
特性與優(yōu)點
- 優(yōu)異的測量性能 — ppb穩(wěn)頻精度，超低周期誤差，輸出分辨率達到38.6 pm。
- 差分配置 — 測量運動平臺相對于安裝立柱的位移，從而消除常見模式誤差，例如與環(huán)境波動有關的工作區(qū)側壁移動。
- 快速調節(jié)準直 — 采用四個內(nèi)置激光準直輔助鏡，很簡單地在真空室外部進行準直調整，從而消除真空室和鏡組安裝公差。
規(guī)格
| 軸行程 | 0 m - 1 m |
| 分辨率（使用RLU配置） | 模擬正交 = λ/4 (158 nm) 數(shù)字正交 = 10 nm RPI20分辨率 = 38.6 pm |
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于50 mm/sec且信號強度 > 70%時 <±1 nm 1 m/sec且信號強度 > 50%時 <±6 nm |
| 速度 | 可達1 m/s |
通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發(fā)射頭。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能，必將成為真空室和其他空調嚴格控制環(huán)境中的應用的理想選擇。
英國雷尼紹RLD10差分干涉儀
英國雷尼紹RLD10差分干涉儀
