用于晶體取向測量的 SDCOM 小型衍射儀

用于單晶（晶錠和晶圓）的材料研究、生產(chǎn)和質(zhì)量控制的臺(tái)式XRD設(shè)備。

Si | SiC | 金剛石 | AIN | GaAs | 石英 | LiNbO? | bbo | GaN 和其他一百多種材料。

SDCOM的特點(diǎn)

• 超快速測量：樣品旋轉(zhuǎn)一次（即10秒內(nèi)）即可捕獲所有所需的晶體取向參數(shù)

• 多種樣品尺寸：可測量直徑從1mm到200mm的樣品

• 可對任何單晶材料進(jìn)行全自動(dòng)分析和取向測定

• 典型標(biāo)準(zhǔn)偏差 (Si 100)：傾角幅度＜0.01° ，傾角方向＜0.03°

• 正常運(yùn)行時(shí)間：＞99%

• Theta 掃描功能：用于復(fù)雜的研究和材料表征

• 轉(zhuǎn)移技術(shù)：實(shí)現(xiàn)一束切割光束中至多可處理6個(gè)定向好的晶體

• 可與SECS/GEM等MES集成